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公开(公告)号:CN1603066A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN200410008414.5
申请日:2004-03-10
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC分类号: G06Q10/047 , G06Q10/08 , Y10S414/14
摘要: 一种制造系统,其包括复数机台群组及一配送系统。其中上述复数机台群组包含复数制程机台,其可以处理在制品。其中上述配送系统是设置于上述制程机台之间,用以配送上述在制品,其包括复数机台群组内配送次系统、至少一机台群组间配送次系统、复数缓冲仓储及至少一连结次系统。上述配送系统的特征在于上述连结次系统分别设置于上述机台群组中两相邻机台群组之间,并且直接耦合对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统,其中上述连结次系统的规格兼容于对应的两相邻机台群组内的上述机台群组内配送次系统的规格。
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公开(公告)号:CN1591440B
公开(公告)日:2010-04-21
申请号:CN200410031700.3
申请日:2004-04-13
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: G06K9/00
CPC分类号: G05B19/4183 , G05B2219/31086 , G05B2219/31312 , G05B2219/31315 , G05B2219/45031 , Y02P90/10
摘要: 一种切换双识别码验证系统的方法,于一符合国际半导体设备暨材料协会(SEMI)的E87标准的机台上整合第二套晶片盒识别码系统。一第一识别存取系统已内建于机台中,在该机台安装一第二识别存取系统,利用一控制流程在第一识别存取系统与一第二识别存取系统间切换,接着透过所选择的系统取得晶片盒识别码。
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公开(公告)号:CN100418700C
公开(公告)日:2008-09-17
申请号:CN200410008414.5
申请日:2004-03-10
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC分类号: G06Q10/047 , G06Q10/08 , Y10S414/14
摘要: 一种制造系统,其包括多个机台组及一配送系统。其中上述多个机台组包含多个加工机台,其可以处理在制品。其中上述配送系统是设置于上述加工机台之间,用以配送上述在制品,其包括多个机台组内配送次系统、至少一机台组间配送次系统、多个暂时存储库及至少一连结次系统。上述配送系统的特征在于上述连结次系统分别设置于上述机台组中两相邻机台组之间,并且直接耦合对应的两相邻机台组内的上述机台组内配送次系统,其中上述连结次系统的运载规格与对应的两相邻机台组内的上述机台组内配送次系统的运载规格相容。
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公开(公告)号:CN1591440A
公开(公告)日:2005-03-09
申请号:CN200410031700.3
申请日:2004-04-13
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: G06F17/60
CPC分类号: G05B19/4183 , G05B2219/31086 , G05B2219/31312 , G05B2219/31315 , G05B2219/45031 , Y02P90/10
摘要: 一种切换双识别码验证系统的方法,于一符合国际半导体设备暨材料协会(SEMI)的E87标准的机台上整合第二套晶片盒识别码系统。一第一识别存取系统已内建于机台中,在该机台安装一第二识别存取系统,利用一控制流程在第一识别存取系统与一第二识别存取系统间切换,接着透过所选择的系统取得晶片盒识别码。
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