公开(公告)号：CN109309030B

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN201810639363.8

申请日：2018-06-20

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 林正穆 ,  廖啟宏 ,  戴逸明 ,  杨岳霖

IPC: H01L21/67 ,  H01L23/544

Abstract: 一种扫描器、校正系统及方法。扫描器包含光源，光源配置以将光线照射于晶圆的背侧。光线自晶圆的背侧反射。第一镜片配置以接收来自晶圆的背侧的光线，并反射此光线。感测器配置以接收来自第一镜片的光线，并产生对应晶圆的背侧形貌的输出信号。

公开(公告)号：CN109309030A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201810639363.8

申请日：2018-06-20

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 林正穆 ,  廖啟宏 ,  戴逸明 ,  杨岳霖

IPC: H01L21/67 ,  H01L23/544

Abstract: 一种扫描器、校正系统及方法。扫描器包含光源，光源配置以将光线照射于晶圆的背侧。光线自晶圆的背侧反射。第一镜片配置以接收来自晶圆的背侧的光线，并反射此光线。感测器配置以接收来自第一镜片的光线，并产生对应晶圆的背侧形貌的输出信号。