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公开(公告)号:CN109994403B
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN201810004704.4
申请日:2018-01-03
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 一种半导体制造设备,包含一装载腔室、一夹持装置、一驱动机构以及一气帘装置。装载腔室是配置以储存一或多个半导体元件。夹持装置是配置以夹持半导体元件。驱动机构是连接夹持装置,且驱动机构是配置以驱动夹持装置将至少一半导体元件于装载腔室与一处理腔室之间运送。气帘装置是设置于夹持装置上,且气帘装置是配置以提供一气流,以形成一气帘邻近于半导体元件的一表面。
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公开(公告)号:CN112305873A
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN202010740798.9
申请日:2020-07-28
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种对用于实施曝光工艺的掩模版进行热管理的方法包括多个操作。基于给定数据选择掩模版的默认状态,其中给定数据包括多个加工过的半导体工件的叠对值及与加工过的半导体工件相关联的掩模版的温度分布。在使用掩模版执行曝光工艺之前,对掩模版进行调节以达到默认状态。
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公开(公告)号:CN109309030B
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN201810639363.8
申请日:2018-06-20
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L23/544
Abstract: 一种扫描器、校正系统及方法。扫描器包含光源,光源配置以将光线照射于晶圆的背侧。光线自晶圆的背侧反射。第一镜片配置以接收来自晶圆的背侧的光线,并反射此光线。感测器配置以接收来自第一镜片的光线,并产生对应晶圆的背侧形貌的输出信号。
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公开(公告)号:CN110955111B
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN201910244279.0
申请日:2019-03-28
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种光罩及使用其的光微影方法。光罩包含基板、光反射结构、图案化层以及多个凸块。基板具有第一表面及第二表面。光反射结构位于基板的第一表面上。图案化层位于光反射结构上。多个凸块位于基板的第二表面上。多个空隙形成于凸块之间且凸块沿远离基板的第二表面的方向突出。
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公开(公告)号:CN113267960A
公开(公告)日:2021-08-17
申请号:CN202110119007.5
申请日:2021-01-28
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种在半导体制造中的微影方法。该方法包括按以下方式经由许多喷嘴产生一目标材料的小滴的多个群组:这些群组中的每一者中的小滴聚集成该目标材料的一细长液滴。该方法亦包括自一激光产生器产生一激光脉冲,以将这些细长液滴转换至产生一EUV辐射的电浆。该方法进一步包括将一半导体晶圆曝露至该EUV辐射。
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公开(公告)号:CN112309892A
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN202010112927.X
申请日:2020-02-24
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 提供一种包含至少以下步骤的用于从半导体工艺腔室中去除微粒的方法。具有第一极性的电荷通过将电压施加到衬底固持器来积累于衬底固持器的接收表面上。吸引半导体工艺腔室中的具有第二极性的微粒以朝向积累具有第一极性的电荷的衬底固持器的接收表面移动,其中第一极性与第二极性相反。从半导体工艺腔室中去除具有第二极性的微粒。还提供用于从半导体工艺腔室中去除微粒的其它方法。
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公开(公告)号:CN109994403A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201810004704.4
申请日:2018-01-03
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 一种半导体制造设备,包含一装载腔室、一夹持装置、一驱动机构以及一气帘装置。装载腔室是配置以储存一或多个半导体元件。夹持装置是配置以夹持半导体元件。驱动机构是连接夹持装置,且驱动机构是配置以驱动夹持装置将至少一半导体元件于装载腔室与一处理腔室之间运送。气帘装置是设置于夹持装置上,且气帘装置是配置以提供一气流,以形成一气帘邻近于半导体元件的一表面。
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公开(公告)号:CN110596850A
公开(公告)日:2019-12-20
申请号:CN201910489790.7
申请日:2019-06-06
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种透镜总成。本公开的实施例涉及在微影工具中使用的动态地控制的透镜。动态透镜的多个区域可用来传输用于微影工艺的辐射光束。通过允许多个区域传输辐射光束,动态地控制的透镜相较于传统的固定透镜可具有延长的生命周期。动态地控制的透镜可以较低的频率更换或调换,因此,改善微影工具的效率并降低生产成本。
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