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发明公开
光源以及生成极紫外光的方法无效

公开(公告)号：CN115494700A

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202210036595.0

申请日：2022-01-13

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈泰佑 , 林卓颖 , 萨加尔迪帕克基夫萨拉 , 陈祥 , 谢劼 , 余升刚 , 简上杰 , 林启德 , 陈立锐 , 刘恒信 , 吴志强

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种能够将集光器表面的温度保持在预定温度或在预定温度以下的光源以及生成极紫外光的方法。根据本发明的各种实施例的光源包括：处理器；液滴产生器，用于产生液滴以产生极紫外光；集光器，用于将极紫外光反射至中间焦点；光产生器，用于产生预脉冲光和主脉冲光；以及热影像撷取装置，用于撷取来自集光器的反射面的热影像。

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