公开(公告)号：CN107230682A

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201710165170.9

申请日：2017-03-20

申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司

发明人： 徐鸿文 ,  卢玠甫 ,  杜友伦 ,  陈愉婷 ,  蔡纾婷 ,  郑秀渝

IPC分类号： H01L27/146

CPC分类号： H01L27/1462 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14685 ,  H01L27/14689 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14601 ,  H01L27/14683

摘要： 本发明的实施例提供了背照式(BSI)图像传感器及其形成方法。该方法包括在衬底中形成多个感光像素，该衬底具有第一表面和第二表面，第二表面与第一表面相对，该衬底具有位于第一表面上的一个或多个有源器件。保护第二表面的第一部分。图案化第二表面的第二部分以在衬底中形成凹槽。在凹槽的侧壁上形成抗反射层。在第二表面的第二部分上方形成金属栅格，抗反射层介于衬底和金属栅格之间。