公开(公告)号：CN113566853B

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202110839109.4

申请日：2021-07-23

申请人： 合肥工业大学

发明人： 李瑞君 ,  赵文楷 ,  李鑫 ,  张连生 ,  黄强先

IPC分类号： G01D5/26

摘要： 本发明公开了一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法，干涉测量系统由激光光源、干涉光路、参考镜、测量镜、光电检测器以及信号处理模块所组成；通过包括光电检测、I/V转换、差分放大、直流自动补偿、正交化及正则化的信号处理方式对干涉信号进行在线自适应处理，得到两路等幅正交干涉电压信号，实现对干涉信号中幅值、相位以及直流偏移误差的补偿，间接提高测量镜的抗偏摆能力。本发明在提高测量系统测量精度的同时，能有效提高测量系统抗测量镜偏摆的能力，扩大测量行程。

公开(公告)号：CN110081823B

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN201910491629.3

申请日：2019-06-06

申请人： 合肥工业大学

发明人： 李瑞君 ,  许鹏 ,  赵文楷 ,  常振鑫 ,  范光照

IPC分类号： G01B11/00

摘要： 本发明公开了一种机床五自由度几何运动误差测量系统，包括激光发射单元、四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元；激光发射单元和滚转误差测量端相对基座位置固定，四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元中矩形反射镜随载物台移动；四自由度误差测量单元由两个内置二维位移光电传感器感测激光发射单元发出的激光信号，通过两个传感器的输出获得沿机床载物台移动方向上的直线度误差和角度误差；滚转误差测量单元基于激光自准直原理，通过内置的二维位移光电传感器测得沿载物台移动方向上的滚转角误差。本发明通过测量能够获得机床五个自由度的几何运动误差，辅助机床安装、调校时的快速测量。

公开(公告)号：CN113566853A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202110839109.4

申请日：2021-07-23

申请人： 合肥工业大学

发明人： 李瑞君 ,  赵文楷 ,  李鑫 ,  张连生 ,  黄强先

IPC分类号： G01D5/26

摘要： 本发明公开了一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法，干涉测量系统由激光光源、干涉光路、参考镜、测量镜、光电检测器以及信号处理模块所组成；通过包括光电检测、I/V转换、差分放大、直流自动补偿、正交化及正则化的信号处理方式对干涉信号进行在线自适应处理，得到两路等幅正交干涉电压信号，实现对干涉信号中幅值、相位以及直流偏移误差的补偿，间接提高测量镜的抗偏摆能力。本发明在提高测量系统测量精度的同时，能有效提高测量系统抗测量镜偏摆的能力，扩大测量行程。