载台及其切割方法、加工设备
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108568783A

    公开(公告)日:2018-09-25

    申请号:CN201710142618.5

    申请日:2017-03-10

    IPC分类号: B25H1/00

    摘要: 一种用于切割工艺的载台及其切割方法、加工设备。该载台包括:承载基底和设置于所述承载基底上的驱动单元。所述驱动单元配置为驱动所述承载基底绕第一方向旋转以清除所述承载基底上的异物,所述第一方向为位于所述承载基底板面内并与所述承载基底板面平行的方向。该载台中设置的驱动单元可以驱动承载基底旋转以实现承载基底上的异物自动滑落,可以提高载台清除异物的清除率和自动化能力,提高产品的切割良率。

    一种载台及生产线制作设备

    公开(公告)号:CN108183085A

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201810001943.4

    申请日:2018-01-02

    IPC分类号: H01L21/687

    摘要: 本发明提供一种载台及生产线制作设备,涉及显示基板的制作领域。载台包括:承载板,所述承载板的形成材料包括可形变材料,所述承载板划分为多个区域;与所述区域一一对应的控制单元,用于在对应的区域发生翘曲后,控制对应的区域发生抵消翘曲的形变。在本发明的方案中,载台设置有控制单元,通过控制单元来对承载板发生翘曲的区域进行形变,以抵消翘曲,可提高承载板的平坦度。在实际应用中,特别是进行激光切工艺,当承载板具有较高平坦度后,可以显著提高激光的聚集效果,从而保证切割工艺正常进行,可提供产品的制作良品率,因此对于厂商来讲,具有较高的实用价值。