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公开(公告)号:CN114740557A
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202210041105.6
申请日:2022-01-14
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 消像差变栅距光栅扫描光刻条纹线密度设计方法,涉及全息光栅制作的技术领域,本发明提出消像差变栅距光栅扫描光刻的干涉条纹线密度设计方法,利用该方法可根据变栅距光栅刻槽密度目标函数,完成扫描光刻过程中干涉条纹线密度函数的设计,按此干涉条纹线密度设计函数,变化干涉条纹的线密度,最终得到的变周期光栅刻槽密度满足光栅刻槽密度目标函数的要求。按照本方法可设计光刻干涉条纹的线密度变化规律。提高变栅距光栅的刻槽密度的精度,保证曝光对比度工艺参数的可控性,对提升变栅距光栅扫描光刻制作水平,提高光栅制作成功率具有重要意义。
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公开(公告)号:CN114415278A
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202210041023.1
申请日:2022-01-14
Applicant: 吉林大学
Abstract: 平面变栅距光栅扫描光刻干涉条纹线密度设计方法,涉及全息光栅制作的技术领域,本发明提出平面变栅距光栅扫描光刻的干涉条纹线密度设计方法,利用该方法可根据变栅距光栅刻槽密度目标函数,完成扫描光刻过程中干涉条纹线密度函数的设计,按此干涉条纹线密度设计函数,变化干涉条纹的线密度,最终得到的变周期光栅刻槽密度满足光栅刻槽密度目标函数的要求。按照本方法可设计光刻干涉条纹的线密度变化规律。提高变栅距光栅的刻槽密度的精度,保证曝光对比度工艺参数的可控性,对提升变栅距光栅扫描光刻制作水平,提高光栅制作成功率具有重要意义。
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公开(公告)号:CN110929427A
公开(公告)日:2020-03-27
申请号:CN201911338559.4
申请日:2019-12-23
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种遥感卫星视频成像快速仿真方法,涉及遥感卫星视频成像技术,主要包括:输入仿真目标点经纬度; 表示地面凝视目标点经纬度;根据输入经纬度 ,利用STK辅助生成卫星轨道位置;根据轨道位置,进行对目标点视频成像过程姿态规划;根据已有的位置、姿态信息,进行像物映射;根据求得的经纬度 ,对应高程图,得到此点对应的高程gao_h;采用二维拉格朗日插值方法进行地球曲面重构,对像平面上各个像素点分别定位得到各个点的灰度值,完成整个影像仿真过程。本发明大大减少了计算量,缩短了仿真时间,提高了仿真速度。在整体系统中对计算机性能要求可降低,为高帧频大幅宽视频实时仿真提供了可能性。
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公开(公告)号:CN111708257B
公开(公告)日:2021-09-03
申请号:CN202010640565.1
申请日:2020-07-06
Applicant: 吉林大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种全息光栅扫描光刻曝光量监测及控制方法,涉及全息光栅制作技术领域,解决现有全息光栅扫描光刻技术存在曝光时间长,制作效率低,以及采用静态曝光监测方法无法满足使用要求等问题,本发明无需在曝光前进行大量样片的制作和测试。在一次全息光栅正式曝光前,进行用于监测曝光量的预曝光,并对扫描运动速度进行优化选择。在扫描运动速度确定后,直接进入全息光栅的正式曝光。曝光量监测控制及后续光刻过程可实现自动化,使光栅制作效率提高,同时根据不同光栅基底上光刻胶涂层参数变化调整曝光量,有效保证了曝光量工艺参数可控性,对提升全息光栅扫描光刻制造工艺水平,提高光栅制造效率,保证大面积全息光栅制作成功率。
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公开(公告)号:CN112208795A
公开(公告)日:2021-01-12
申请号:CN202010794121.3
申请日:2020-08-10
Applicant: 吉林大学
IPC: B64G1/24
Abstract: 一种敏捷卫星非沿迹曲线成像的姿态轨迹规划方法,涉及卫星姿态控制领域,本发明从整星姿态调偏流的角度,根据地物目标点与卫星位置的几何关系及坐标变换原理,进行卫星在轨对地面非沿迹曲线条带中若干特征目标点成像时精确指向的三轴姿态计算。以此姿态指向为约束,基于建立的敏捷卫星控制模型,采用伪谱法设计非沿迹曲线成像精确指向的姿态最优轨迹。本发明适用于地面成像目标条带与星下点轨迹不平行的情况。本发明方法可为卫星对地面曲线成像目标条带的一次过境获取提供三轴姿态信息参考值,为姿态控制系统的设计提供依据。
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公开(公告)号:CN111874269A
公开(公告)日:2020-11-03
申请号:CN202010794295.X
申请日:2020-08-10
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种磁控小卫星的低功耗对日捕获及定向姿态控制方法,涉及卫星姿态控制技术领域,解决现有磁控卫星技术存在受限于磁控力矩量级较小,磁控力矩的方向受到卫星所处位置地球磁场等的限制,导致磁控力矩只能在与地球磁场方向正交的平面内产生等问题,本发明针对六面体构型小卫星,其配置每个面一个0-1式太阳敏感器,且6个0-1式太阳敏感器对全天球覆盖;配置数字太阳敏器一个并安装在卫星的最大对日面;配置一个磁强计;配置用于测量卫星三轴姿态角速度信息的MEMS陀螺一套;配置可控制卫星三轴的磁线圈一套。本发明设计了一种寻日控制逻辑,提出基于小卫星角速度控制闭环的控制方法,保证小卫星在阳照区任意初始姿态下均可实现最大帆板面的对日捕获。
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公开(公告)号:CN111708257A
公开(公告)日:2020-09-25
申请号:CN202010640565.1
申请日:2020-07-06
Applicant: 吉林大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种全息光栅扫描光刻曝光量监测及控制方法,涉及全息光栅制作技术领域,解决现有全息光栅扫描光刻技术存在曝光时间长,制作效率低,以及采用静态曝光监测方法无法满足使用要求等问题,本发明无需在曝光前进行大量样片的制作和测试。在一次全息光栅正式曝光前,进行用于监测曝光量的预曝光,并对扫描运动速度进行优化选择。在扫描运动速度确定后,直接进入全息光栅的正式曝光。曝光量监测控制及后续光刻过程可实现自动化,使光栅制作效率提高,同时根据不同光栅基底上光刻胶涂层参数变化调整曝光量,有效保证了曝光量工艺参数可控性,对提升全息光栅扫描光刻制造工艺水平,提高光栅制造效率,保证大面积全息光栅制作成功率。
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公开(公告)号:CN114415278B
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN202210041023.1
申请日:2022-01-14
Applicant: 吉林大学
Abstract: 平面变栅距光栅扫描光刻干涉条纹线密度设计方法,涉及全息光栅制作的技术领域,本发明提出平面变栅距光栅扫描光刻的干涉条纹线密度设计方法,利用该方法可根据变栅距光栅刻槽密度目标函数,完成扫描光刻过程中干涉条纹线密度函数的设计,按此干涉条纹线密度设计函数,变化干涉条纹的线密度,最终得到的变周期光栅刻槽密度满足光栅刻槽密度目标函数的要求。按照本方法可设计光刻干涉条纹的线密度变化规律。提高变栅距光栅的刻槽密度的精度,保证曝光对比度工艺参数的可控性,对提升变栅距光栅扫描光刻制作水平,提高光栅制作成功率具有重要意义。
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公开(公告)号:CN112208795B
公开(公告)日:2021-11-02
申请号:CN202010794121.3
申请日:2020-08-10
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种敏捷卫星非沿迹曲线成像的姿态轨迹规划方法,涉及卫星姿态控制领域,本发明从整星姿态调偏流的角度,根据地物目标点与卫星位置的几何关系及坐标变换原理,进行卫星在轨对地面非沿迹曲线条带中若干特征目标点成像时精确指向的三轴姿态计算。以此姿态指向为约束,基于建立的敏捷卫星控制模型,采用伪谱法设计非沿迹曲线成像精确指向的姿态最优轨迹。本发明适用于地面成像目标条带与星下点轨迹不平行的情况。本发明方法可为卫星对地面曲线成像目标条带的一次过境获取提供三轴姿态信息参考值,为姿态控制系统的设计提供依据。
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公开(公告)号:CN111787244B
公开(公告)日:2021-06-29
申请号:CN202010682094.0
申请日:2020-07-15
Applicant: 吉林大学
IPC: H04N5/353
Abstract: 本发明公开了一种航天TDI沿轨推扫像移混叠抑制方法,涉及航天成像技术,该方法包括:计算出原有TDI相机的曝光周期,TDI相机成像的像元感生电荷的时序周期内,对原时序进行n份全等细分;在原有曝光时间,采用计数分频器增加分频输出,分频输出值为原有曝光时间的n分之一;按照细分后的时序,进行像元感应电荷量化电压值的多次选取与读取;将其中像元对应区域内物点混叠度低的电荷量化电压值进行叠加,并将叠加后的数据保存。本发明的方法实现简单,可以改善成像情况,无需更改过多硬件,使成像混叠得到抑制,成像质量得到提高,满足航天TDI高清成像的需求。
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