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公开(公告)号：CN115793141A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211561747.5
申请日：2022-12-07
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种基于飞秒激光直写技术制备的超低双折射玻璃波导、方法及其应用，属于激光加工技术领域，本发明采用基于飞秒激光加工技术的形状‑应力的双补偿方案；首先，形状补偿方案是利用柱透镜‑狭缝整形技术使飞秒激光光束在玻璃材料上聚焦成为圆形光斑，从而在康宁玻璃内部制备圆形端面的波导；其次，非对称性应力双折射的补偿方案具体是指在圆波导的水平径向邻域位置额外加工一条修饰线，以补偿加工圆形端面主波导时其内部所产生的非对称性应力；在应力补偿过程中，添加的修饰线几乎不影响圆波导的传输损耗和单模传输等基本特性；最终修饰线与圆形端面主波导组合形成新的波导，新的波导具有超低双折射(1*10‑9)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112548323B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202011448109.3
申请日：2020-12-09
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光直写波导耦合区提高耦合效率的方法，属于激光加工技术领域，本发明通过飞秒激光的精细加工能力，在直写加工了玻璃基波导后，可以对波导耦合区采用不同扫描功率实现波导间耦合效率可控和提升，且不影响波导的传输损耗，模式等基本特性，从根本上解决了不同波导间距之间耦合效率低且固定的问题。通过利用飞秒激光直写波导耦合区的类三明治结构的方案，解决了固定波导间距间的耦合效率的可控及再提高的实际问题。通过提高耦合效率，缩短了耦合长度，可以助力于片上器件的小型化，使单位面积中集成更多功能器件。
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公开(公告)号：CN112548323A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011448109.3
申请日：2020-12-09
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光直写波导耦合区提高耦合效率的方法，属于激光加工技术领域，本发明通过飞秒激光的精细加工能力，在直写加工了玻璃基波导后，可以对波导耦合区采用不同扫描功率实现波导间耦合效率可控和提升，且不影响波导的传输损耗，模式等基本特性，从根本上解决了不同波导间距之间耦合效率低且固定的问题。通过利用飞秒激光直写波导耦合区的类三明治结构的方案，解决了固定波导间距间的耦合效率的可控及再提高的实际问题。通过提高耦合效率，缩短了耦合长度，可以助力于片上器件的小型化，使单位面积中集成更多功能器件。
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公开(公告)号：CN109732201B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910046564.1
申请日：2019-01-18
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/067 , B23K26/60 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了利用三棱台棱镜进行近4π立体角飞秒激光直写加工的方法及其应用，属于激光加工技术领域，本发明通过控制三束全同激光垂直入射到三棱台的三个侧面上，使得这三束飞秒激光在样品内部的待加工平面正交会聚，得到各项同性更好的三光子激发焦点(具有近4π立体角近球型焦点)，从而在根本上解决了单束激光在进行大埋入深度直写加工时的散焦问题。同时结合压电平台和样品运动平台的控制，使得三棱台和样品在Z轴方向同步运动，实现加工深度在样品内部的连续可调，进而获得加工深度连续变化的、性质均一的三维埋入式结构。
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公开(公告)号：CN109732201A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910046564.1
申请日：2019-01-18
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/067 , B23K26/60 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了利用三棱台棱镜进行近4π立体角飞秒激光直写加工的方法及其应用，属于激光加工技术领域，本发明通过控制三束全同激光垂直入射到三棱台的三个侧面上，使得这三束飞秒激光在样品内部的待加工平面正交会聚，得到各项同性更好的三光子激发焦点(具有近4π立体角近球型焦点)，从而在根本上解决了单束激光在进行大埋入深度直写加工时的散焦问题。同时结合压电平台和样品运动平台的控制，使得三棱台和样品在Z轴方向同步运动，实现加工深度在样品内部的连续可调，进而获得加工深度连续变化的、性质均一的三维埋入式结构。
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公开(公告)号：CN116540403A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310535379.5
申请日：2023-05-12
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了基于飞秒激光直写技术制备的可旋转光轴波导、方法及应用，属于激光加工技术领域，该方法采用狭缝整形方式制备无光轴且应力分布均匀的圆波导；在圆波导的附近添加应力修饰线，利用修饰线产生的应力场打破圆波导的形状对称性和均匀应力场，诱导产生可旋转光轴波导。光轴的旋转角度通过改变圆形主波导和修饰线之间的中心连线与水平线所呈的夹角来实现的。修饰线中心轴线与圆波导中心轴线之间存在适当距离用以打破圆波导的形状对称性和内应力平衡。在应力诱导产生光轴的过程中，本发明所添加的修饰线几乎不影响圆波导的传输损耗和单模传输等基本特性，最终圆形主波导和修饰线组合形成新的波导即是可旋转光轴的波导。
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