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公开(公告)号：CN102291039B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201110205685.X
申请日：2011-07-22
申请人： 吉林大学
摘要： 本发明涉及一种多自由度仿生压电驱动装置，属于精密加工领域。由基壳、定子、转子组成，基于步进方式工作，定子上无嵌位元件，利用压电叠堆正向推力、柔性铰链反向回弹力综合作用，实现了驱动器转子正、反方向双向运动以及轴向的直线运动。另外，在材料微观特性测试方面，该驱动装置可同时完成对精细材料的纳米级拉伸和扭转测试。基于尺蠖式压电驱动具有高精度定位和重复定位能力，可应用于超精密加工机床、材料试件纳米力学性能的检测、微机电系统、精密光学、航空航天和机器人等领域。可大大提高普通驱动器的驱动精度，具有位移控制精度高、响应快、驱动力大、驱动功率低和工作频率宽、成本低、投资少、见效快、效益高等优点。
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公开(公告)号：CN102288501A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110208525.0
申请日：2011-07-25
申请人： 吉林大学
IPC分类号： G01N3/42
摘要： 本发明涉及一种精密纳米压痕测试装置，属于精密科学仪器领域。主要由精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、载物台组成；精密压入驱动单元由音圈电机、连接件、导轨、滑块组成，其中音圈电机和导轨安装在底座上，检测金刚石压头压入材料压力的精密力学传感器通过侧板Ⅰ安装在底座上，用于检测金刚石压头压入深度精密位移传感器通过侧板Ⅱ安装在底座上，载物台安装在精密力学传感器上，金刚石压头安装在连接板上，连接板通过螺钉装配在滑块上。优点在于：结构简单、加工方便、体积较小，定位精度高、响应迅速、并且可以在电镜下原位观测压入过程中材料的变形过程和损伤机理，从而更加直观的了解材料的微纳米力学性能。
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公开(公告)号：CN102288501B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201110208525.0
申请日：2011-07-25
申请人： 吉林大学
IPC分类号： G01N3/42
摘要： 本发明涉及一种精密纳米压痕测试装置，属于精密科学仪器领域。主要由精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、载物台组成；精密压入驱动单元由音圈电机、连接件、导轨、滑块组成，其中音圈电机和导轨安装在底座上，检测金刚石压头压入材料压力的精密力学传感器通过侧板Ⅰ安装在底座上，用于检测金刚石压头压入深度精密位移传感器通过侧板Ⅱ安装在底座上，载物台安装在精密力学传感器上，金刚石压头安装在连接板上，连接板通过螺钉装配在滑块上。优点在于：结构简单、加工方便、体积较小，定位精度高、响应迅速、并且可以在电镜下原位观测压入过程中材料的变形过程和损伤机理，从而更加直观的了解材料的微纳米力学性能。
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公开(公告)号：CN102291039A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110205685.X
申请日：2011-07-22
申请人： 吉林大学
摘要： 本发明涉及一种多自由度仿生压电驱动装置，属于精密加工领域。由基壳、定子、转子组成，基于步进方式工作，定子上无嵌位元件，利用压电叠堆正向推力、柔性铰链反向回弹力综合作用，实现了驱动器转子正、反方向双向运动以及轴向的直线运动。另外，在材料微观特性测试方面，该驱动装置可同时完成对精细材料的纳米级拉伸和扭转测试。基于尺蠖式压电驱动具有高精度定位和重复定位能力，可应用于超精密加工机床、材料试件纳米力学性能的检测、微机电系统、精密光学、航空航天和机器人等领域。可大大提高普通驱动器的驱动精度，具有位移控制精度高、响应快、驱动力大、驱动功率低和工作频率宽、成本低、投资少、见效快、效益高等优点。
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公开(公告)号：CN202135076U
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201120260012.X
申请日：2011-07-22
申请人： 吉林大学
摘要： 本实用新型涉及一种多自由度仿生压电驱动装置，属于精密加工领域。由基壳、定子、转子组成，基于步进方式工作，定子上无嵌位元件，利用压电叠堆正向推力、柔性铰链反向回弹力综合作用，实现了驱动器转子正、反方向双向运动以及轴向的直线运动。另外，在材料微观特性测试方面，该驱动装置可同时完成对精细材料的纳米级拉伸和扭转测试。基于尺蠖式压电驱动具有高精度定位和重复定位能力，可应用于超精密加工机床、材料试件纳米力学性能的检测、微机电系统、精密光学、航空航天和机器人等领域。可大大提高普通驱动器的驱动精度，具有位移控制精度高、响应快、驱动力大、驱动功率低和工作频率宽、成本低、投资少、见效快、效益高等优点。
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