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公开(公告)号：CN103341788B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310268014.7
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法，涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量，由于采用两通道同时测量，同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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公开(公告)号：CN103344425B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310268146.X
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M13/00
摘要： 基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法，涉及静压主轴性能测试领域。本发明是为解决现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测试的问题。本发明方法如下：在直驱式超精密静压主轴转子的上端部安装高精度标准平面作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准平面与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量。本发明可以实现对处于实际加工状态下的超精密静压主轴的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程。
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公开(公告)号：CN103331829A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310282108.X
申请日：2013-07-05
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于KDP晶体超精密飞切加工机床的机械式微进给刀架，本发明涉及一种机械式微进给刀架，本发明为解决现有KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给装置进给分辨率不足，不能精确调节进给量而影响加工精度，以及其它机械式微量进给装置亦不适用于KDP晶体超精密飞切加工机床的问题。本发明粗调部分和精调部分串联设置，粗调采用丝杆螺母机构，精调采用微分头驱动斜面机构。进给轴小端由精密外螺纹同粗调螺母配装，主动楔和从动楔分别设置于大端通槽和盲孔内，主动楔由微分头和回复弹簧在两端将其压紧；从动楔和夹刀块固接，支承弹簧套装在其外一同置于大端盲孔内由端盖压紧。本发明用于实现KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给。
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公开(公告)号：CN111044242A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911396097.1
申请日：2019-12-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M5/00
摘要： 一种超精密飞切机床主轴与导轨刚度检测装置及检测方法，属于机床性能检测技术领域。本发明解决了现有技术无法实现超精密静压主轴与导轨刚度准确检测的问题。所述第一基准板上由下到上依次固设有力传感器、气缸及定心支杆，支撑板的底端开设有定心孔，所述定心孔与主轴同轴布置，且定心支杆的顶端与所述定心孔配合，第一基准板上方布置有若干导轨位移传感器，第二基准板上方布置有若干主轴位移传感器，且若干所述导轨位移传感器及若干主轴位移传感器分别绕主轴轴线均布，若干主轴位移传感器分别通过导线连接主轴位移信号采集器，若干导轨位移传感器分别通过导线连接导轨位移信号采集器，力传感器通过导线连接力信号采集器。
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公开(公告)号：CN103341788A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310268014.7
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法，涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量，由于采用两通道同时测量，同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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公开(公告)号：CN103335833A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310272441.2
申请日：2013-07-02
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M13/00
摘要： 在线测量超精密静压主轴动态性能的装置及采用该装置测量静压主轴动态性能的方法，本发明涉及一种超精密静压主轴动态性能在线测量方法。本发明解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测量或现有方法难以解决测量基准的安装误差和制造误差对测量结果产生影响的问题。本发明采用高精度位移传感器采集传感器与标准球之间的位移信息，获得的位移信息经信号放大器进行放大，经A/D转换电路和数据采集电路后输入至计算机；采用旋转编码器对主轴的相位信息进行采集并输入计算机，通过计算机进行分析与处理，获得超精密静压主轴旋转的动态性能误差数据，完成超精密静压主轴动态性能在线测量。本发明适用于超精密静压主轴动态性能在线测量。
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公开(公告)号：CN103335783A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310268076.8
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M1/14
摘要： 一种超精密直驱式静压主轴动平衡方法，它涉及一种静压主轴动平衡方法。为解决现有方法不能实现超精密静压主轴转子的精密动平衡问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大器放大成0-10V的信号后输入动平衡仪，同时将光电测速仪测得的主轴转速信息输入动平衡仪，通过动平衡仪对所测得的信息进行处理得到转子不平衡质量和相位，在动平衡盘上根据动平衡仪指示的相位加入所需的平衡质量块。保证了主轴旋转中心同测量基准球的旋转中心能够很好重合，消除了安装误差对测量结果造成的影响。
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公开(公告)号：CN111044242B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201911396097.1
申请日：2019-12-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M5/00
摘要： 一种超精密飞切机床主轴与导轨刚度检测装置及检测方法，属于机床性能检测技术领域。本发明解决了现有技术无法实现超精密静压主轴与导轨刚度准确检测的问题。所述第一基准板上由下到上依次固设有力传感器、气缸及定心支杆，支撑板的底端开设有定心孔，所述定心孔与主轴同轴布置，且定心支杆的顶端与所述定心孔配合，第一基准板上方布置有若干导轨位移传感器，第二基准板上方布置有若干主轴位移传感器，且若干所述导轨位移传感器及若干主轴位移传感器分别绕主轴轴线均布，若干主轴位移传感器分别通过导线连接主轴位移信号采集器，若干导轨位移传感器分别通过导线连接导轨位移信号采集器，力传感器通过导线连接力信号采集器。
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公开(公告)号：CN103335783B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310268076.8
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M1/14
摘要： 一种超精密直驱式静压主轴动平衡方法，它涉及一种静压主轴动平衡方法。为解决现有方法不能实现超精密静压主轴转子的精密动平衡问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大器放大成0-10V的信号后输入动平衡仪，同时将光电测速仪测得的主轴转速信息输入动平衡仪，通过动平衡仪对所测得的信息进行处理得到转子不平衡质量和相位，在动平衡盘上根据动平衡仪指示的相位加入所需的平衡质量块。保证了主轴旋转中心同测量基准球的旋转中心能够很好重合，消除了安装误差对测量结果造成的影响。
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公开(公告)号：CN103331829B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201310282108.X
申请日：2013-07-05
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于KDP晶体超精密飞切加工机床的机械式微进给刀架，本发明涉及一种机械式微进给刀架，本发明为解决现有KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给装置进给分辨率不足，不能精确调节进给量而影响加工精度，以及其它机械式微量进给装置亦不适用于KDP晶体超精密飞切加工机床的问题。本发明粗调部分和精调部分串联设置，粗调采用丝杆螺母机构，精调采用微分头驱动斜面机构。进给轴小端由精密外螺纹同粗调螺母配装，主动楔和从动楔分别设置于大端通槽和盲孔内，主动楔由微分头和回复弹簧在两端将其压紧；从动楔和夹刀块固接，支承弹簧套装在其外一同置于大端盲孔内由端盖压紧。本发明用于实现KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给。
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