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公开(公告)号：CN109968203B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910273117.X
申请日：2019-04-04
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明涉及一种环形抛光加工中抛光盘表面形貌误差的修整装置及方法，隶属于光学加工领域，尤其涉及一种修整环抛机床抛光盘表面形貌的装置及方法，目的是为了克服现有抛光盘修整装置无法根据需要对修整装置进行多姿态的调整，修整精度不高的问题，包括载板、角度调节杆、高度调节杆和刮盘刀具；角度调节杆位于载板的上，且角度调节杆的一端设有调节杆螺栓以实现转动连接；载板上沿角度调节杆的转动路径设有弧形通槽；角度调节杆的另一端连接有高度调节杆，高度调节杆的顶端穿过载板的弧形通槽及角度调节杆的另一端；高度调节杆的底端设有刮盘刀具固定槽并可实现刮盘刀具相对高度调节杆的角度调整。
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公开(公告)号：CN106949852B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN105234820B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201510523228.3
申请日：2015-08-24
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种非接触式金属基砂轮圆度误差及磨损量在线检测方法及实现该方法的装置，涉及磨削加工领域中的金属基砂轮圆度误差和砂轮磨损量在线检测技术。它为了解决现有测量金属基砂轮圆度误差及砂轮磨损量的方法应用范围窄的问题。本发明的方案为：固定电涡流传感器的位置，采用电涡流传感器在线检测该电涡流传感器测头与金属基砂轮表面距离，计算得到砂轮不同位置半径变化情况，从而得到金属基砂轮旋转一周的圆度误差曲线。通过比较一段磨削时间后砂轮对应位置半径的变化，计算得到金属基砂轮表面不同位置的磨损量。本发明能够以非接触方式在磨削过程实时检测金属基砂轮磨损量及砂轮圆度误差，检测精度高，适用范围广。
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公开(公告)号：CN107883964A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号： G01C21/20 , G01B11/002 , G01B11/02
摘要： 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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公开(公告)号：CN105522237B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201610081907.4
申请日：2016-02-04
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种反应烧结SiC陶瓷磨削过程中的金属基砂轮在线电火花修锐方法，本发明涉及工程陶瓷精密磨削加工领域，具体涉及反应烧结SiC陶瓷镜面精密成形磨削过程中的金属基砂轮修锐方法。本发明目的是要解决现有在线修锐方法需要专用修锐装置，安装时需要对机床进行改造，且腐蚀性的工作液对机床维护与保养不利的问题。在线电火花修锐方法：以金属基砂轮和反应烧结SiC陶瓷作为火花放电的两个电极，以脉冲电源作为火花放电的电源，以乳化溶液作为电火花放电的介质溶液，通过脉冲电源的脉冲电流在介质溶液中的火花放电作用，实现反应烧结SiC陶瓷磨削过程中的金属基砂轮在线电火花修锐。本发明主要用于反应烧结SiC陶瓷的精密磨削加工。
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公开(公告)号：CN103341788B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310268014.7
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法，涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量，由于采用两通道同时测量，同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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公开(公告)号：CN103344425B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310268146.X
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M13/00
摘要： 基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法，涉及静压主轴性能测试领域。本发明是为解决现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测试的问题。本发明方法如下：在直驱式超精密静压主轴转子的上端部安装高精度标准平面作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准平面与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量。本发明可以实现对处于实际加工状态下的超精密静压主轴的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程。
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公开(公告)号：CN103331829A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310282108.X
申请日：2013-07-05
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于KDP晶体超精密飞切加工机床的机械式微进给刀架，本发明涉及一种机械式微进给刀架，本发明为解决现有KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给装置进给分辨率不足，不能精确调节进给量而影响加工精度，以及其它机械式微量进给装置亦不适用于KDP晶体超精密飞切加工机床的问题。本发明粗调部分和精调部分串联设置，粗调采用丝杆螺母机构，精调采用微分头驱动斜面机构。进给轴小端由精密外螺纹同粗调螺母配装，主动楔和从动楔分别设置于大端通槽和盲孔内，主动楔由微分头和回复弹簧在两端将其压紧；从动楔和夹刀块固接，支承弹簧套装在其外一同置于大端盲孔内由端盖压紧。本发明用于实现KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给。
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公开(公告)号：CN101870002B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
摘要： 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号：CN101870002A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
摘要： 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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