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公开(公告)号：CN103268073A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203964.1
申请日：2013-05-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05B17/02
摘要： 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统，涉及一种双工件台半物理仿真系统。是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它包括上位机、基于VME总线工控机和三维仿真模型三个部分，上位机与工控机之间通过以太网进行数据和指令的传输，与三维仿真模块通过动态链接库进行数据和指令的交互。VME工控机内插有运动控制卡，所述运动控制卡嵌入有指令解算模型、控制模型、电机模型和工件台数学模型以实现对控制指令的解算、控制算法、电机以及工件台模型的建立和整定后控制量的输出。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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公开(公告)号：CN102621826B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201210120751.8
申请日：2012-04-23
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20 , G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02
摘要： 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。
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公开(公告)号：CN102621826A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210120751.8
申请日：2012-04-23
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20 , G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02
摘要： 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。
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公开(公告)号：CN103268381A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203935.5
申请日：2013-05-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G06F17/50
摘要： 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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