光栅楔形平板及应用该平板的转角测量装置

    公开(公告)号:CN1231743C

    公开(公告)日:2005-12-14

    申请号:CN200410013761.7

    申请日:2004-05-19

    Abstract: 本发明公开一种测角元件,还公开应用该测角元件的转角测量装置。一种光栅楔形平板(1),它由上下平面间夹成楔形的玻璃楔形平板(1-1)和加工在玻璃楔形平板(1-1)倾斜表面(101)上的反射式闪耀光栅(1-2)组成,(1-2)是若干个以中心轴(102)为中心的同心圆形分布的刻划面。应用光栅楔形平板(1)的转角测量装置,它由双频激光干涉仪(2)、干涉模块(3)和光栅楔形平板(1)组成,(2)由双频激光光源(2-1)和光电接收器(2-2)组成,(3)由偏振分光镜(3-1)、两块相同的λ/4波片(3-2)、直角棱镜(3-3)和角锥棱镜(3-4)组成,加工有闪耀光栅(1-2)的倾斜表面(101)背向(3)。由于本发明采用激光光学测角方法,响应迅速,因此动态响应范围大。本发明具有设计新颖、工作可靠和具有较大推广价值的优点。

    光栅楔形平板及应用该平板的转角测量装置

    公开(公告)号:CN1580693A

    公开(公告)日:2005-02-16

    申请号:CN200410013761.7

    申请日:2004-05-19

    Abstract: 本发明公开一种测角元件,还公开应用该测角元件的转角测量装置。一种光栅楔形平板(1),它由上下平面间夹成楔形的玻璃楔形平板(1-1)和加工在玻璃楔形平板(1-1)倾斜表面(101)上的反射式闪耀光栅(1-2)组成,(1-2)是若干个以中心轴(102)为中心的同心圆形分布的刻划面。应用光栅楔形平板(1)的转角测量装置,它由双频激光干涉仪(2)、干涉模块(3)和光栅楔形平板(1)组成,(2)由双频激光光源(2-1)和光电接收器(2-2)组成,(3)由偏振分光镜(3-1)、两块相同的λ/4波片(3-2)、直角棱镜(3-3)和角锥棱镜(3-4)组成,加工有闪耀光栅(1-2)的倾斜表面(101)背向(3)。由于本发明采用激光光学测角方法,响应迅速,因此动态响应范围大。本发明具有设计新颖、工作可靠和具有较大推广价值的优点。

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