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公开(公告)号：CN106949852A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN106949852B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN107883964A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号： G01C21/20 , G01B11/002 , G01B11/02
摘要： 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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公开(公告)号：CN107883964B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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公开(公告)号：CN109531424B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN201910019569.5
申请日：2019-01-09
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B53/02
摘要： 本发明提供一种可实现大口径平面抛光机的抛光盘高效高精度修整的包络式修整方法及其装置，首先选用较大的切削用量对抛光盘进行快速去除，去除表面大尺度的形状误差，使抛光盘的表面形状误差≤30μm；然后根据修整后的盘面形状来调节修整过程中Z轴的竖向补偿量，进一步提高抛光盘的形状精度到≤10μm；最后对抛光盘表面进行精细匀滑修整，并达到满足使用要求的形状精度。本发明基于超精密铣削原理，采用小口径式的修整盘对抛光盘进行修整，其运动方式结合了全口径式修整方法和小工具式修整方法的优点，实现了米级平面抛光盘的高精度修整，不仅提高了修整精度，也提高了修整效率，为大口径平面光学元件的面形收敛提供了一种有效的控制方法。
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公开(公告)号：CN111156235B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010095830.2
申请日：2020-02-17
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供一种超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法。超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，旋转台设置在箱体内部，在旋转台上设置有支撑杆，在支撑杆上设置有背板，在背板上表面设置粘结胶点；在旋转台上设置有多个挡块，挡块的一端与背板侧面贴靠在一起，挡块的另一端与旋转台连接；驱动电机驱动旋转台匀速旋转；在箱体内部设置有散热器、加热器和风机，散热器与制冷机相连。本发明可以实现对超薄光学元件点胶上盘过程温度场的精确控制，防止加热及冷却时背板‑胶点‑元件系统温度不均匀造成的热应力，减轻超薄光学元件下盘后的不规则变形现象，从而提高超薄光学元件的面形加工精度。
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公开(公告)号：CN107297685B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN201710729924.9
申请日：2017-08-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B53/12
摘要： 本发明提供一种可在较低加载压力条件下修正沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置。沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置，在固定背板和工作板之间设置有陶瓷加热板，在所述固定背板的上表面设置有球槽。本发明通过增加小工具的加热功能，从而提高小工具对沥青抛光盘形状误差的体积修正速度，体积修正速度可达0.1‑100mm3/min，并可在较低加载压力条件下进行，加载压力为2‑100KPa，从而改善小工具修正加工时的旋转平稳性。
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公开(公告)号：CN109187246B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201811253224.8
申请日：2018-10-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及一种固结磨具硬度检测装置，包括：基座，基座上具有贯穿的操作空间；基座底部远离操作空间的位置安装有可升降高度支腿；水平推动机构，水平推动机构安装于基座顶部，且不覆盖操作空间；下压推动机构，下压推动机构竖直布置，可滑动于水平推动机构上，且其底部延伸至操作空间内；压头，压头安装于下压推动机构底部，且位于操作空间内可沿竖直方向和水平方向上移动；及控制器，控制器电性连接水平推动机构和下压推动机构。本发明还提供了一种检测方法，控制方便、噪音小，适合在光学加工现场高洁净环境下应用；控制器通过内部程序控制推动器工作，控制精确，测量精度高。
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公开(公告)号：CN115420257A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211034270.5
申请日：2022-08-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种回转工作台的倾斜误差测量方法，包括：采用电子水平仪对回转工作台进行测量，获得电子水平仪的测量读数；根据测量读数，计算回转工作台的各个旋转角采样点对应实际轴线的平均绝对倾斜度测量值；根据平均绝对倾斜度测量值，计算回转工作台的各个旋转角采样点对应实际轴线与轴线平均线的倾斜误差值；将计算出来的最大倾斜误差值作为回转工作台的倾斜误差；通过该方法可以快速简便地测量回转工作台的倾斜误差，且测量精度较高，因此可以适用于不同工业现场、实验室条件下各类回转工作台的倾斜误差测量。
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公开(公告)号：CN108508842B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201810298493.X
申请日：2018-04-04
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G05B19/401 , G01B11/27
摘要： 本发明提供一种测量精度较高的数控机床直线导轨的直线度误差检测方法，该方法包括以下步骤：1)将水槽放在直线导轨的下方；2)在直线导轨上安装溜板，将激光位移传感器固定在溜板上，激光位移传感器的测头检测点指向水面；3)检测前将溜板移至检测行程的一端，然后开启溜板匀速移动，同时开始记录激光位移传感器测得的测头与水面的距离，待溜板移至检测行程的另一端时停止记录数据，得到激光位移传感器的测头随溜板匀速移动过程中与水槽水面距离的变化，即为直线导轨的直线度误差。本发明采用水面作为参考对象，通过激光位移传感器检测测头随水面距离的变化，从而获得直线导轨的直线度误差，由于水面具有极好的平面度，检测精度较高。
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