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公开(公告)号：CN106949852B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN107883964A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号： G01C21/20 , G01B11/002 , G01B11/02
摘要： 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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公开(公告)号：CN106949852A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN107883964B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711115936.9
申请日：2017-11-13
申请人： 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法，涉及一种环抛加工工件环上运动轨迹检测装置及其方法。本发明为了解决现有环抛加工中工件环上单点运动轨检测过程复杂和检测精度低的问题。装置由工件环、激光位移传感器、光电位置传感器和固定板构成；工件环与固定板平行设置，激光位移传感器设置于工件环上表面的盲孔内部，光电位置传感器以环形阵列的方式设置于固定板的下表面。方法：工件环转动过程中光电位置传感器记录平面坐标数据x和y，激光位移传感器记录竖直高度变化z；将x和y绘制成平面运动轨迹图，将x、y和z绘制成三维运动轨迹图。本发明检测过程简单方便且精度较高，可以而提高元件面形演变预测的精度。
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公开(公告)号：CN109732439B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN201910161067.6
申请日：2019-03-04
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种光学元件子口径抛光夹具，涉及精密加工领域。该夹具包括二维调平台、支撑板、多个弧形延拓挡板以及定位挡块。其中，支撑板设置于二维调平台，用于放置光学元件，多个弧形延拓挡板紧挨支撑板的外侧壁设置，且依次首尾连接形成便于光学元件进行抛光作业的容腔；定位挡块设置于二维调平台，且穿过弧形延拓挡板伸向支撑板，用于定位并抵紧对应位置上的支撑板。通过弧形延拓挡块扩展抛光工具加工区域，使抛光工具可移动出元件遍历元件整个表面，从而抑制边缘加工时抛光力的畸变。且通过二维调平台进行元件表面精密调平，减小装夹对刀误差，提升元件表面材料去除准确性。
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公开(公告)号：CN109333234B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN201811476382.X
申请日：2018-12-03
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B13/005 , B24B13/00 , B24B37/27
摘要： 本发明提供一种稳定性好的小口径光学元件的装夹装置及其方法。小口径光学元件的装夹装置，包括基板、陶瓷环、之形连接板、挡块、调节螺钉、陪抛片和分离器，所述陪抛片的数量与元件的侧面数量相匹配；所述挡块的数量与所述陪抛片的数量一致；所述陪抛片平放在基板上；所述挡块侧面设置有调节螺钉，用于固定陪抛片与元件的相对位置；所述陶瓷环和分离器通过之形连接板连接在一起；所述分离器的中心开孔，用以放置所述挡块。本发明通过陪抛片将元件紧密联合，可以实现小口径元件的快速装夹，能够适应不同外形及尺寸的元件，稳定性好，改善了小口径元件加工精度控制难、效率低的问题。
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公开(公告)号：CN109955148B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201910204249.7
申请日：2019-03-18
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。
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公开(公告)号：CN114290177B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202111453340.6
申请日：2021-12-01
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B13/00 , B24B49/12 , B24B27/02 , B24B13/005 , B24B47/22
摘要： 本发明公开了一种非球面光学元件磨削加工非接触式精密对刀方法，在机床工作台上安装固定光学元件的同时，在元件的旁边不影响加工的位置固定一块油石；然后使用砂轮在元件表面磨削凹坑，将激光传感器固定在机床主轴上，测量凹坑最低点在第一坐标系中的坐标，由此计算得到测头光点和砂轮最低点之间的偏移距离；并进一步获取非球面光学元件位置并建立元件‑砂轮空间位置关系。本发明砂轮和元件没有直接接触，保证了元件表面的质量，并且对刀精度达到微米级别，提高了非球面的加工精度，避免后续停机检测进行误差修整而造成的工时增加，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN114657529A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210309500.8
申请日：2022-03-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种自由曲面镀膜装夹装备，涉及真空镀膜试镀设备技术领域，包括位于上方可以转动的安装架，所述安装架上方设置有驱动安装架转动的驱动机构，所述安装架下方按阵列均布有间距可调整的工装单元，每个工装单元均包括高度可以调节的支撑和设置在支撑末端用于安装试镀元件离散单元的安装机构，所述安装机构上设置有能够调整试镀元件离散单元面向镀膜蒸发源角度且无阴影效应的角度调节机构。本发明能够模拟各种复杂曲面；另外多个试镀元件离散单元通过安阵列布置的工装单元能够模拟大口径复杂曲面的形状，且工装单元上在调节角度过程中，没有遮挡试镀元件离散单元的结构，避免了蒸发料受遮挡造成“阴影效应”。
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公开(公告)号：CN112916314B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110083443.1
申请日：2021-01-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供一种薄板元件的低应变上盘装置及其方法。薄板元件的低应变上盘装置，移动溜板设置在第四导轨的丝杆上，出胶阀安装在移动溜板上，通过第三电机带动丝杆旋转使移动溜板沿着第四导轨在Z方向上下移动，第四导轨还设置在第三导轨的丝杆上，通过第二电机带动丝杆旋转使第四导轨沿着第三导轨在Y方向移动，第三导轨设置在第一导轨的丝杆上和第二导轨上，通过第一电机带动丝杆旋转使第三导轨沿着第一导轨和第二导轨在X方向移动。本发明通过多点柔性支撑构建元件‑胶点‑背板三位一体的半刚性系统，将弱刚性的薄板元件的抛光转换为刚性元件的加工，可有效抑制元件加工过程中的装夹变形，在保证加工效率的同时提高面形精度。
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