一种基于微棱镜阵列的微结构成形方法

    公开(公告)号:CN105467750B

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201510924839.9

    申请日:2015-12-11

    IPC分类号: G03F7/00 G02B5/00

    摘要: 一种基于微棱镜阵列的微结构成形方法:(1)在基底表面涂覆光刻胶;(2)将基底的光刻胶面放置于微棱镜阵列下方;(3)利用准直后的激光光源作为曝光光源照射微棱镜阵列;(4)在曝光过程中,移动微棱镜阵列或移动涂覆有光刻胶的基片,对抗蚀剂表面光强的连续调制;(5)取出基片进行显影,获得需要的局域干涉光刻微结构。本发明不需要大型设备制备光刻掩膜,大大降低了工艺的复杂程度。

    一种微结构成形方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104876178A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201510176165.9

    申请日:2015-04-15

    IPC分类号: B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种微结构成形方法,本发明涉及一种尺度从几微米到几十微米甚至上百微米的微图形制备方法;通过倾斜蒸镀金属银层可以获得靓丽的显示效果。该技术可广泛应用于微缩文字/图案防伪,三维/动态显示/防伪等领域。

    一种双轴可调数字式光电自准直仪

    公开(公告)号:CN104315999A

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201410660491.2

    申请日:2014-11-19

    IPC分类号: G01B11/26

    摘要: 本发明涉及光学测量领域,尤其涉及一种自准直仪,具体指一种双轴可调数字式光电自准直仪,包括第一光源、第二光源、第一分划板、第二分划板、第一可调汇聚透镜组、第二可调汇聚透镜组、第一分光棱镜、第二分光棱镜、望远主镜、望远次镜和PSD探测器,本发明采用PSD探测器,系统响应快,分辨率高;采用双轴“一字”分划板,所探测到的“十字”投影光信号,是经过双轴的两套独立光源系统的光信号重叠而产生,相当于在一个自准直仪上实现了两次检测的功能,提高了系统的分辨和反应能力,测量精度更高,采用了汇聚透镜组缩短了准直仪的纵向高度,结构更加紧凑,可广泛应用于日常生活、工业生产、航空航天、船舶和军工领域的准直测量中。

    一种基于LED的光束整形透镜

    公开(公告)号:CN104199190A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410495958.2

    申请日:2014-09-24

    IPC分类号: G02B27/09 G02B3/00

    摘要: 本发明公开了一种基于LED的光束整形透镜,其特征在于:它由LED光源1、LED光束入射面2、LED光束出射面3,以及LED左右侧向光束操控面4,及LED前后侧向光束操控面5组成。LED发出的光束一部分通过光束入射面2和光束出射面3进行调控,LED发出的另一部分光束则主要通过侧向光束全反射操控面4,及侧向光束全反射操控面5进行调控。该微结构主要用于产生矩形光斑分布图案。

    一种微小图形制备方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103838080A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201410124352.8

    申请日:2014-03-31

    发明人: 张宜文 吴松 胡玲

    IPC分类号: G03F7/00

    摘要: 一种微小图形制备方法:在基材表面涂覆感光面,感光面上方设置微透镜阵列,微透镜阵列上方设置微小图形掩模,掩模上方设置紫外灯光源;当紫外灯开启时,通过对掩模图形的缩小曝光实现感光面的嵌套光刻,最后取出涂覆感光面的基片显影获得所需微小结构,本发明可以实现微小图形及大面积结构的制作。

    一种基于微棱镜阵列的微结构成形方法

    公开(公告)号:CN105467750A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510924839.9

    申请日:2015-12-11

    IPC分类号: G03F7/00 G02B5/00

    摘要: 一种基于微棱镜阵列的微结构成形方法:(1)在基底表面涂覆光刻胶;(2)将基底的光刻胶面放置于微棱镜阵列下方;(3)利用准直后的激光光源作为曝光光源照射微棱镜阵列;(4)在曝光过程中,移动微棱镜阵列或移动涂覆有光刻胶的基片,对抗蚀剂表面光强的连续调制;(5)取出基片进行显影,获得需要的局域干涉光刻微结构。本发明不需要大型设备制备光刻掩膜,大大降低了工艺的复杂程度。

    一种基于微纳结构的激光散射图像显示方法

    公开(公告)号:CN104766537A

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201510176844.6

    申请日:2015-04-15

    IPC分类号: G09F7/00

    CPC分类号: G09F3/02

    摘要: 本发明公开了一种基于微纳结构的激光散射图像显示方法,它主要具有微米、纳米尺度特征的二维微纳结构组成,利用二维微纳结构的位相和振幅信息对入射光的方向进行调节,形成特定的光散射图案与效果。同时采用本发明申请保护的工艺与装备,可完成相关微纳结构在金属、塑料以及其它各种材质表面的有效成形。

    一种偏振隔离双轴数字式光电自准直仪

    公开(公告)号:CN104316000A

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201410660832.6

    申请日:2014-11-19

    IPC分类号: G01B11/26

    摘要: 本发明涉及光学测量领域,尤其涉及一种准直仪,具体指一种偏振隔离双轴数字式光电自准直仪,包括第一光源、第二光源、第一分划板、第二分划板、第一光源汇集透镜、第二光源汇聚透镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、1/4波片、望远主镜、次镜和PSD探测器,本发明采用偏振片,减少了光能损失;采用PSD探测器,分辨率高;采用双轴“一字”分划板,所探测到的“十字”投影光信号,是经过双轴的两套独立光源系统的光信号重叠而产生,相当于在一个自准直仪上实现了两次检测的功能,提高了系统的分辨能力和反应能力,结构简单,测量精度更高,可广泛应用于日常生活、工业生产、航空航天、船舶和军工领域的准直测量中。

    一种基于LED的光束整形透镜

    公开(公告)号:CN104199190B

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201410495958.2

    申请日:2014-09-24

    IPC分类号: G02B27/09 G02B3/00

    摘要: 本发明公开了一种基于LED的光束整形透镜,其特征在于:它由LED光源1、LED光束入射面2、LED光束出射面3,以及LED左右侧向光束操控面4,及LED前后侧向光束操控面5组成。LED发出的光束一部分通过光束入射面2和光束出射面3进行调控,LED发出的另一部分光束则主要通过侧向光束全反射操控面4,及侧向光束全反射操控面5进行调控。该微结构主要用于产生矩形光斑分布图案。

    一种偏振隔离双轴数字式光电自准直仪

    公开(公告)号:CN104316000B

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201410660832.6

    申请日:2014-11-19

    IPC分类号: G01B11/26

    摘要: 本发明涉及光学测量领域,尤其涉及一种准直仪,具体指一种偏振隔离双轴数字式光电自准直仪,包括第一光源、第二光源、第一分划板、第二分划板、第一光源汇集透镜、第二光源汇聚透镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、1/4波片、望远主镜、次镜和PSD探测器,本发明采用偏振片,减少了光能损失;采用PSD探测器,分辨率高;采用双轴“一字”分划板,所探测到的“十字”投影光信号,是经过双轴的两套独立光源系统的光信号重叠而产生,相当于在一个自准直仪上实现了两次检测的功能,提高了系统的分辨能力和反应能力,结构简单,测量精度更高,可广泛应用于日常生活、工业生产、航空航天、船舶和军工领域的准直测量中。