公开(公告)号：CN213925134U

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202023173305.2

申请日：2020-12-25

申请人： 四川永祥硅材料有限公司

发明人： 杨刚 ,  杨佩均 ,  马自成

IPC分类号： C30B35/00

摘要： 本实用新型提供了一种单晶炉预埋式安装结构,涉及单晶炉设备技术领域。该单晶炉预埋式安装结构包括单晶炉、基架和基座。单晶炉安装在基架上，基架固定在基座的顶部。基座的一侧沿其高度方向开设有容纳口，回水管和进水管横向嵌设在容纳口内，主抽空管竖直地嵌设在容纳口内，回水管和进水管分别位于主抽空管的左右两侧。基座内预置有电源控制箱，电源控制箱的输入端电性连接有电源线和信号线路，电源控制箱的输出端电性连接有电源柜接口、真空泵接口、过滤罐接口和液压站接口。优化后的管路和线路的布局可以提高设备的维修效率，减少管路的弯折现象，杜绝因管路引起的炉台故障和安全事故隐患。

公开(公告)号：CN213951416U

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202023234404.7

申请日：2020-12-29

申请人： 四川永祥硅材料有限公司

发明人： 杨刚 ,  杨佩均 ,  马自成 ,  张军

IPC分类号： C30B35/00 ,  C30B29/06

摘要： 本实用新型提供了一种单晶炉配套设备撬装装置，包括：底座，可移动，起承载作用；真空泵，安装于底座前部，设有吸气管路和排气管路；振动过滤器，安装于底座中部，包括进气口和排气口，进气口经管路与单晶炉连接，排气口与真空泵的吸气管路连接；液压系统柜，安装于底座的后部，用于驱动单晶炉上的提升机构；控制箱，安装于底座的后部，与真空泵、振动过滤器和液压系统柜电性连接；其中，真空泵、振动过滤器、液压系统柜和控制箱均定位固定安装于底座上。该撬装装置实现单晶炉各配套设备的标准化模块化布局，管道线路分布合理，方便安装、拆换，便于后期维护，整体布局统一，增加车间布局美观性和空间利用率。