公开(公告)号：CN111538356B

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202010259468.8

申请日：2020-04-03

申请人： 四川知微传感技术有限公司

发明人： 魏全 ,  李荣宽 ,  周骏

IPC分类号： G05D13/62 ,  G01P15/18 ,  G01P15/125

摘要： 本发明公开了一种分时复用三轴加速度计及其控制方法，本发明包括X、Y、Z三个轴向的敏感结构、电容/数字转换前端电路、ΔΣ调制器后级电路、高压驱动反馈电路和比例积分控制电路；其中，X、Y、Z三个轴向的敏感结构的上下极板均接入2相时钟信号。本发明分时复用三轴数字加速度计结构简单，三个轴向的传感器仅使用一个电路芯片加上相应的时序控制就可完成三轴加速度计的功能。本发明采用直接电容到数字量的转换结构不用电容到电压、电压到数字量的转换过程，节省了电路功耗、降低了电路复杂度及电路易受环境影响的因素如温度及工艺偏差等方面的影响。

公开(公告)号：CN111510143A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN202010259477.7

申请日：2020-04-03

申请人： 四川知微传感技术有限公司

发明人： 魏全 ,  李荣宽 ,  周骏

IPC分类号： H03M1/12 ,  G01P15/125

摘要： 本发明公开了一种电容到数字量直接转换的前端电路，该前端电路包括加速度计敏感结构、基准电压Vref、2相非交叠的时钟控制信号Φ1和时钟控制信号Φ2、运算放大器和开关组件；通过时钟控制信号Φ1控制开关组件，利用施加在敏感结构上的基准电压作用在变化电容上，产生正比于变化电容的电荷；然后通过时钟控制信号Φ2控制开关组件，使得上述得到的电荷通过运算放大器进行放大，即可得到正比于敏感结构的变化量。本发明结构简单、无需专门的模数转换电路，也能达到直接电容到数字量的转换。

公开(公告)号：CN111538356A

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN202010259468.8

申请日：2020-04-03

申请人： 四川知微传感技术有限公司

发明人： 魏全 ,  李荣宽 ,  周骏

IPC分类号： G05D13/62 ,  G01P15/18 ,  G01P15/125

摘要： 本发明公开了一种分时复用三轴加速度计及其控制方法，本发明包括X、Y、Z三个轴向的敏感结构、电容/数字转换前端电路、ΔΣ调制器后级电路、高压驱动反馈电路和比例积分控制电路；其中，X、Y、Z三个轴向的敏感结构的上下极板均接入2相时钟信号。本发明分时复用三轴数字加速度计结构简单，三个轴向的传感器仅使用一个电路芯片加上相应的时序控制就可完成三轴加速度计的功能。本发明采用直接电容到数字量的转换结构不用电容到电压、电压到数字量的转换过程，节省了电路功耗、降低了电路复杂度及电路易受环境影响的因素如温度及工艺偏差等方面的影响。