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公开(公告)号:CN104471697A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201280070679.0
申请日:2012-12-26
申请人: 因特瓦克公司
IPC分类号: H01L21/677
CPC分类号: C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/566 , C23C14/568
摘要: 公开了一种基板处理系统,其支持组合式的静态和经过处理。而且,提供了一种系统体系结构,其减小了覆盖区尺寸。该系统构造成使得基板在其中被垂直地处理,并且每个室都具有与其一个侧壁附接的处理源,其中另一个侧壁返回到互补的处理室。室系统能够由例如铝的单个金属块经机械加工而成,其中从两侧对金属块进行机械加工,从而壁保持且分隔每两个互补的处理室。
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公开(公告)号:CN104471697B
公开(公告)日:2018-03-16
申请号:CN201280070679.0
申请日:2012-12-26
申请人: 因特瓦克公司
IPC分类号: H01L21/677
CPC分类号: C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/566 , C23C14/568
摘要: 公开了一种基板处理系统,其支持组合式的静态和经过处理。而且,提供了一种系统体系结构,其减小了覆盖区尺寸。该系统构造成使得基板在其中被垂直地处理,并且每个室都具有与其一个侧壁附接的处理源,其中另一个侧壁返回到互补的处理室。室系统能够由例如铝的单个金属块经机械加工而成,其中从两侧对金属块进行机械加工,从而壁保持且分隔每两个互补的处理室。
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