公开(公告)号：CN117393408A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311295952.6

申请日：2023-10-07

申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

发明人： 马永飞 ,  唐骐杰 ,  姚一帆 ,  饶秀伟 ,  曹峰 ,  张伟

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/24 ,  H01J37/09 ,  H01J37/28

摘要： 本发明公开了一种驱动电路、粒子流控制束闸和扫描电镜。驱动电路包括：数字控制信号模块，与高压输出模块和低压输出模块分别连接，用于输出第一ECL信号对至高压输出模块，并输出第二ECL信号对至低压输出模块；高压输出模块，与输出开关模块连接，用于对第一ECL信号对进行升压处理，并对升压处理后的第一ECL信号对进行电流放大处理，得到高压驱动信号；低压输出模块，与输出开关模块连接，用于对第二ECL信号对进行电流放大处理，得到低压驱动信号；输出开关模块摸，用于根据高压驱动信号和低压驱动信号输出控制信号，以作用于扫描电镜的粒子流。该驱动电路可降低对扫描电镜粒子流高速偏转的结构要求，提高扫描电镜的快扫作业精度。