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公开(公告)号：CN118712038A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410698671.3
申请日：2024-05-31
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种气体注入装置，气体注入装置安装在扫描电镜上，气体注入装置涉及精密仪器技术领域，气体注入装置包括：固定组件，固定组件设在扫描电镜的外部且中部限定有安装孔，固定组件包括连接件和支撑件，连接件与扫描电镜连接；气体注入件，气体注入件穿设在安装孔内且安装在支撑件上；多个调节件，多个调节件沿安装孔的周向间隔布置，调节件可活动的设在连接件和支撑件中的一个，且调节件适于与连接件和支撑件中的另一个抵接。根据本发明实施例的气体注入装置，通过在连接件和支撑件中的一个设置调节件，且调节件可以与连接件和支撑件中的另一个抵接，可以保证气体注入件的端部对准共焦点，提高操作人员所获取的数据的准确性，便于操作。
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公开(公告)号：CN118471772B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410926914.4
申请日：2024-07-11
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/28 , G01N23/2251
摘要： 本发明公开了一种扫描电镜，扫描电镜包括：基座；旋转组件，旋转组件可转动的设在基座上且限定有样品仓和与样品仓连通的检测口；扫描组件，扫描组件设在旋转组件上且包括可活动的扫描装置；样品支撑装置，样品支撑装置设在样品仓内且包括底座、第一支撑件、第二支撑件和样品台，第一支撑件沿水平方向可活动地设在底座上，第二支撑件与第一支撑件活动配合，样品台可转动的设在第二支撑件上；驱动组件，驱动组件用于驱动第一支撑件和第二支撑件活动、以及样品台和旋转组件转动、以及扫描装置活动。根据本发明实施例的扫描电镜，通过设置可相对于旋转组件活动的样品台，有利于实现对样品的全方位扫描，可以提高对样品的扫描效果，且便于操作。
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公开(公告)号：CN118098913B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410490781.0
申请日：2024-04-23
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜，该方法包括：根据扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过电子束闸对到达目标样品的电子束进行通断控制；利用探测器分别得到电子束断开时产生的第一电信号和电子束导通时产生的第二电信号；根据第一电信号和目标偏置值对与第一电信号相邻第二电信号进行补偿，并根据补偿后的第二电信号生成目标样品的扫描电镜图像。该方法通过获取电子束断开时探测器产生的第一电信号以及电子束闸导通时探测器产生的第二电信号，根据第一电信号和目标偏置值对与第一电信号相邻第二电信号进行补偿，解决扫描电镜在刚开始扫描作业时图像采集效果存在异常的问题。
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公开(公告)号：CN118098914A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410490804.8
申请日：2024-04-23
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 本发明公开了一种电子探测装置和扫描电镜，电子探测装置包括：反射式能量分析器，包括沿电子束入射方向依次设置的第一控制电极和第二控制电极，第一控制电极用于与第二控制电极之间产生第一电场；第一探测器，设置在第二控制电极远离第一控制电极的一侧；第二探测器，设置在第一控制电极远离第二控制电极的一侧；导电屏蔽管，沿电子束入射方向贯穿第一控制电极和第二控制电极设置，用于屏蔽反射式能量分析器产生的电场，以允许电子束穿过并入射至目标样品；第一电场用于将二次电子引导至第一探测器。该电子探测装置可提高背散射电子和二次电子的分离度和收集效率。
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公开(公告)号：CN118053722A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202410446245.0
申请日：2024-04-15
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要： 本公开是关于一种电子束对中调节方法、扫描电镜电子束对中调节方法、电子束对中调节装置、存储介质及电子设备。该电子束对中调节方法，包括获取电子束在扫描设备中进行对中调节时的多个调节坐标点；通过改变扫描设备中控制电子束成像的聚焦电流，获取电子束在各调节坐标点处分别扫描得到的第一图像和第二图像；通过对各调节坐标点处得到的第一图像和第二图像进行图像偏移比对，在多个调节坐标点中确定出图像偏移最小的调节坐标点为电子束对中调节的目标位置点，以调节电子束的扫描位置至目标位置点。如此实现扫描设备中电子束自动、快速对中调节，有利于提高扫描设备的成像质量。
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公开(公告)号：CN118015069A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410425619.0
申请日：2024-04-10
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种纤维直径测量方法和装置、存储介质和测量系统，其中，纤维直径测量方法包括：对纤维图像进行预处理以得到纤维图像中每根纤维两侧的边缘线段信息；根据边缘线段信息确定每根纤维两侧的边缘线段中，同一侧的相邻的两个边缘线段是否补充连接；对每根纤维两侧的边缘线段中，同一侧的相邻的两个边缘线段进行补充连接，连接形成的线段为相邻的两个边缘线段之间的补充边缘线段，相邻的两个边缘线段通过补充边缘线段连接形成一条完整的边缘线段；根据每根纤维中两侧的边缘线段计算每根纤维的纤维直径。由此，能够同时获取多根纤维不同位置的纤维直径，进而提高获取纤维直径的效率。
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公开(公告)号：CN117747386A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311693871.1
申请日：2023-12-07
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/08 , G01T1/29
摘要： 本发明公开了一种粒子束检测系统、方法、存储介质和电子设备，所述系统设置于扫描电镜的粒子枪内部，所述系统包括：粒子源、偏转电极、法拉第杯，其中，所述粒子源，设置于所述粒子枪的入口处，用于发射粒子束；所述法拉第杯，包括检测器和束流通孔；所述偏转电极，位于所述粒子源与所述法拉第杯之间；其中，所述偏转电极处于非工作状态时，所述粒子束经过所述法拉第杯的束流通孔，并从所述粒子枪的出口发射出，以进行蚀刻作业；所述偏转电极处于工作状态时，形成偏转电场，以引导所述粒子束运动至所述检测器，通过所述检测器对所述粒子束进行检测。根据本发明实施例提供的方案能够提高检测粒子束的准确性。
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公开(公告)号：CN117727610A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202410172155.7
申请日：2024-02-07
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种样品台扫描位点的复位控制方法、装置及系统和存储介质，涉及扫描电镜技术领域，其中复位控制方法包括：获取样品台倾角调节前，样品台上目标扫描点的三轴等效坐标参数、倾斜轴的倾斜角以及旋转轴的旋转角中的至少部分信息，以及样品台倾角调节后，倾斜轴的倾斜角和旋转轴的旋转角；并根据上述参数信息确定三轴平移组件的复位位移量；根据复位位移量控制三轴平移组件的移动，以使样品台的扫描位点复位至样品台倾角调节前的位置。本发明提供的技术方案，能够在调节样品台倾角后自动复位扫描位点，使电子束聚焦位置处的样品扫描位点在倾角调节前后保持一致，提高样品台倾斜/旋转调节复位控制的便捷性和精度。
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公开(公告)号：CN117665032A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410140334.2
申请日：2024-02-01
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
IPC分类号： G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01B15/08
摘要： 本发明公开了一种扫描方法、装置、系统、存储介质和电子设备，扫描方法包括：获取待扫描样品的表面高度信息；根据表面高度信息，从待扫描样品的表面区域中确定待扫描区域；基于待扫描区域对应的扫描方式，对待扫描样品中与待扫描区域对应的部分进行扫描。本申请的扫描方法对待扫描样品进行分区扫描，不同区域对应的扫描方法不同，提高了扫描效率。
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