公开(公告)号：CN118471772B

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410926914.4

申请日：2024-07-11

申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

发明人： 栗宽 ,  崔帅超 ,  徐龙泉 ,  陈帆 ,  潘结春 ,  姚一帆 ,  卢志钢 ,  唐骐杰 ,  孙思嘉 ,  刘纪凯 ,  张伟 ,  曹峰 ,  贺羽

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  G01N23/2251

摘要： 本发明公开了一种扫描电镜，扫描电镜包括：基座；旋转组件，旋转组件可转动的设在基座上且限定有样品仓和与样品仓连通的检测口；扫描组件，扫描组件设在旋转组件上且包括可活动的扫描装置；样品支撑装置，样品支撑装置设在样品仓内且包括底座、第一支撑件、第二支撑件和样品台，第一支撑件沿水平方向可活动地设在底座上，第二支撑件与第一支撑件活动配合，样品台可转动的设在第二支撑件上；驱动组件，驱动组件用于驱动第一支撑件和第二支撑件活动、以及样品台和旋转组件转动、以及扫描装置活动。根据本发明实施例的扫描电镜，通过设置可相对于旋转组件活动的样品台，有利于实现对样品的全方位扫描，可以提高对样品的扫描效果，且便于操作。

公开(公告)号：CN118549477B

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202411023442.8

申请日：2024-07-29

申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

发明人： 栗宽 ,  崔帅超 ,  潘结春 ,  陈帆 ,  姚一帆 ,  卢志钢 ,  张伟 ,  曹峰 ,  贺羽

IPC分类号： G01N23/2204 ,  B25B11/00 ,  H01J37/20 ,  G01N23/2251

摘要： 本发明公开了一种承载装置的使用方法及承载装置，本发明涉及高精密测量设备的样品承载技术领域，使用方法包括：将半球壳样品的外表面放置到第一承载件中；将第一承载件转移至第一目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，其开口边缘处于水平面上，以扫描半球壳样品的内表面及开口边缘；使半球壳样品转移至第二承载件上；将第二承载件转移至第二目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以扫描半球壳样品的外表面。通过设置承载装置承载半球壳样品，并通过本申请的承载装置的使用方法，降低半球壳样品产生歪斜风险，使半球壳样品有效被扫描，提升扫描数据的有效性、稳定性及正确性，从而提升检测结果的精度。

公开(公告)号：CN118471772A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410926914.4

申请日：2024-07-11

申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

发明人： 栗宽 ,  崔帅超 ,  徐龙泉 ,  陈帆 ,  潘结春 ,  姚一帆 ,  卢志钢 ,  唐骐杰 ,  孙思嘉 ,  刘纪凯 ,  张伟 ,  曹峰 ,  贺羽

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  G01N23/2251

摘要： 本发明公开了一种扫描电镜，扫描电镜包括：基座；旋转组件，旋转组件可转动的设在基座上且限定有样品仓和与样品仓连通的检测口；扫描组件，扫描组件设在旋转组件上且包括可活动的扫描装置；样品支撑装置，样品支撑装置设在样品仓内且包括底座、第一支撑件、第二支撑件和样品台，第一支撑件沿水平方向可活动地设在底座上，第二支撑件与第一支撑件活动配合，样品台可转动的设在第二支撑件上；驱动组件，驱动组件用于驱动第一支撑件和第二支撑件活动、以及样品台和旋转组件转动、以及扫描装置活动。根据本发明实施例的扫描电镜，通过设置可相对于旋转组件活动的样品台，有利于实现对样品的全方位扫描，可以提高对样品的扫描效果，且便于操作。

公开(公告)号：CN118549477A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202411023442.8

申请日：2024-07-29

申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

发明人： 栗宽 ,  崔帅超 ,  潘结春 ,  陈帆 ,  姚一帆 ,  卢志钢 ,  张伟 ,  曹峰 ,  贺羽

IPC分类号： G01N23/2204 ,  B25B11/00 ,  H01J37/20 ,  G01N23/2251

摘要： 本发明公开了一种承载装置的使用方法及承载装置，本发明涉及高精密测量设备的样品承载技术领域，使用方法包括：将半球壳样品的外表面放置到第一承载件中；将第一承载件转移至第一目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，其开口边缘处于水平面上，以扫描半球壳样品的内表面及开口边缘；使半球壳样品转移至第二承载件上；将第二承载件转移至第二目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以扫描半球壳样品的外表面。通过设置承载装置承载半球壳样品，并通过本申请的承载装置的使用方法，降低半球壳样品产生歪斜风险，使半球壳样品有效被扫描，提升扫描数据的有效性、稳定性及正确性，从而提升检测结果的精度。

公开(公告)号：CN117393408A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311295952.6

申请日：2023-10-07

申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

发明人： 马永飞 ,  唐骐杰 ,  姚一帆 ,  饶秀伟 ,  曹峰 ,  张伟

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/24 ,  H01J37/09 ,  H01J37/28

摘要： 本发明公开了一种驱动电路、粒子流控制束闸和扫描电镜。驱动电路包括：数字控制信号模块，与高压输出模块和低压输出模块分别连接，用于输出第一ECL信号对至高压输出模块，并输出第二ECL信号对至低压输出模块；高压输出模块，与输出开关模块连接，用于对第一ECL信号对进行升压处理，并对升压处理后的第一ECL信号对进行电流放大处理，得到高压驱动信号；低压输出模块，与输出开关模块连接，用于对第二ECL信号对进行电流放大处理，得到低压驱动信号；输出开关模块摸，用于根据高压驱动信号和低压驱动信号输出控制信号，以作用于扫描电镜的粒子流。该驱动电路可降低对扫描电镜粒子流高速偏转的结构要求，提高扫描电镜的快扫作业精度。