热导检测装置
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217981317U

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202221419584.2

    申请日:2022-06-07

    IPC分类号: G01N25/20 G01N25/18

    摘要: 本实用新型属于微电子机械系统技术领域并提供一种热导检测装置,热导检测装置包括基底板、承载组件、盖板以及热敏电阻组件,基底板上的第一承载板、第二承载板以及第三承载板间隔设置并分别形成参比气体检测通道和待测气体检测通道;热敏电阻组件包括两个第一热敏电阻和两个第二热敏电阻,两个第一热敏电阻分别设置在参比气体检测通道两侧的第一承载板和第二承载板上,两个第二热敏电阻分别设置在待测气体检测通道两侧的第二承载板和第三承载板上,四个热敏电阻分别沿对应检测通道延伸。因此每个承载板能提供单独的承载面来分别设置四个热敏电阻,将更大阻值热敏电阻分别设置在对应的承载板上,从而可以达到增加热导检测装置的灵敏度的目的。