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公开(公告)号：CN110412684A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910707421.0
申请日：2019-08-01
申请人： 国家纳米科学中心
发明人： 李晓军
摘要： 本申请公开了一种采用纳米压印技术的近眼显示器衍射光栅波导的制备方法，属于近眼显示技术领域，解决了现有技术中衍射光栅波导制备难度大、产量低、重复性差、无法进行大规模生产的问题。本申请的制备方法包括如下步骤：制备具有衍射光栅波导图案的压印模板；将压印模板的衍射光栅波导图案通过纳米压印工艺转印至转印模板，得到制备具有衍射光栅波导图案的反图案的转印模板；将转印模板的衍射光栅波导图案的反图案通过纳米压印工艺转印至波导衬底，得到近眼显示器衍射光栅波导。本申请的制备方法可用于近眼显示器衍射光栅波导的制备。
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公开(公告)号：CN110333643A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910721247.5
申请日：2019-08-06
申请人： 国家纳米科学中心
发明人： 李晓军
IPC分类号： G03F7/00
摘要： 本发明提供了一种纳米压印模板、其制备方法及纳米压印方法。所述纳米压印模板包括功能区和非功能区；所述非功能区分为第一非功能区和第二非功能区，所述第一非功能区围绕所述功能区并与所述功能区相邻，所述非功能区上除去第一非功能区的区域为第二非功能区；所述第一非功能区的高度高于所述功能区和所述第二非功能区的高度。所述纳米压印模板是在现有的纳米压印凹模板的基础上进行整形得到。相较于现有的纳米压印凹模板，本发明提供的纳米压印模板在保证模板强度的同时，能够降低压印压力，提高图案转移质量，提高压印良率，延长模板寿命。
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公开(公告)号：CN105047420B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201510300879.6
申请日：2015-06-03
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明提供一种多孔镍基碳纤维复合材料及其制备方法和用途，所述多孔镍基碳纤维复合材料的结构由内至外依次为碳纤维布层，多孔纳米镍金属薄膜层和氢氧化镍层。本发明通过在碳纤维布衬底上沉积纳米镍金属薄膜，而后将纳米镍金属薄膜转化为多孔纳米镍金属薄膜，最后将多孔镍金属薄膜的表层镍氧化为氢氧化镍得到所述多孔镍基碳纤维复合材料。该材料具有轻质、柔性、大比表面积等特点，用作超级电容器电极材料，呈现明显的赝电容特征，具有高容量和高稳定性，可应用于储能领域，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN104538209A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410748996.4
申请日：2014-12-09
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明提供了一种多孔石墨烯-MnO2复合薄膜、其制备方法及其用途。本发明通过原位制备方法制备多孔石墨烯-MnO2复合薄膜，包括以下步骤：制备氧化石墨烯分散液；向分散液中加入氯化钙和葡萄糖，搅拌至完全溶解，加入氨水搅拌，而后通入CO2气体，得到悬浊液，真空抽滤，揭下氧化石墨烯薄膜，退火，得到碳膜包覆的还原石墨烯-碳酸钙复合薄膜；将其置入盐酸溶液中反应，去除碳酸钙颗粒，得到碳膜包覆的多孔石墨烯薄膜；而后在高锰酸钾溶液中水热反应得到多孔石墨烯-MnO2复合薄膜。本发明制备的多孔石墨烯-MnO2复合薄膜具有贯通的三维孔道结构，比表面积大，是一种高容量、高稳定性的超级电容器电极材料，可用于储能领域。
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公开(公告)号：CN104451547A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410737555.4
申请日：2014-12-05
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 一种制备纳米多孔金属薄膜的方法，通过磁控溅射工艺制备。本发明的方法制作工艺简单，并可以常温下制备出纳米多孔金属薄膜；所制备的多孔金属薄膜具有超薄、比表面积大、活性高、膜层均匀、易于微器件集成等特点，可以应用于催化、新能源领域，并可以直接作为超级电容器材料制备微型电容电极。
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公开(公告)号：CN111458369B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202010431708.8
申请日：2020-05-20
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明提供了一种薄膜面内热导率的测量装置及方法，所述装置包括样品单元、测量电路单元和数据采集分析单元；所述样品单元包括测量芯片，所述测量芯片包括镂空的芯片框架、支撑膜或复合膜、第一温度传感器和第二温度传感器；所述温度传感器均是由导电线、两个电流接线端及两个电压接线端组成，两条导电线平行设置；测量电路单元中的第一测量电路为三倍频电压测量电路，第二测量电路为两倍频电压测量电路。本发明通过样品单元的结构设计，采用不同的测量电路对温度传感器的温度波动信号进行检测，并结合适当的传热模型，考虑辐射热损失的影响，面内热导率具有较高的测量精度；所述样品单元的制作流程简单，可有效简化测量步骤并缩短测量时间。
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公开(公告)号：CN105225845A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510684171.5
申请日：2015-10-20
申请人： 国家纳米科学中心
CPC分类号： Y02E60/13
摘要： 本发明提供了一种超级电容器电极材料及其制备方法，该电极材料包括衬底，位于衬底上的多孔镍膜，和位于多孔镍膜表面及孔隙中的过渡金属氧化物。该电极材料通过磁控溅射工艺，湿法腐蚀工艺及电子束蒸发镀膜工艺制备得到。该超级电容器电极材料具有较高的质量比电容以及面积比电容，循环性能以及抗弯折性能优异，并且具有结构稳定及轻质等特点，是一种优异的超级电容器储能器件，非常适合储能器件的制备，具有广阔的应用前景；另外，该电极材料采用微纳加工工艺制备得到，其制备方法与半导体器件加工工艺相兼容。
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公开(公告)号：CN104465119A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410713658.7
申请日：2014-11-28
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明涉及一种基于三维ZnO@MnO2复合纳米阵列叉指电极的超级电容器及其制备方法。该超级电容器包括封装袋和固体电解质，还包括ZnO@MnO2复合纳米阵列叉指电极，所述固体电解质和所述ZnO@MnO2复合纳米阵列叉指电极置于所述封装袋内，且所述固体电解质涂抹在所述ZnO@MnO2复合纳米阵列叉指电极上。所述ZnO@MnO2复合纳米阵列叉指电极利用微纳加工技术，在柔性透明PET衬底上制备透明叉指集电极，通过溶液法在集电极上生长三维ZnO棒纳米阵列，并利用电沉积工艺在三维ZnO纳米棒周围包覆一层MnO2制备而成。该超级电容器大大提高了器件的面积比电容，而且纳米阵列间隙提供了便于离子传输和交换的通道，也提高了电容的倍率特性及循环性能。
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公开(公告)号：CN101286005A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200710065294.6
申请日：2007-04-10
申请人： 国家纳米科学中心
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明涉及一种带有氧化物掩模的局域微缩光刻膜，包括基底，和依次沉积在基底上的第一保护层、氧化物掩模层、第二保护层、第一金属薄膜和第二金属薄膜；所述的第一金属薄膜和第二金属薄膜，是两种金属在相对较低温度≤500℃下，能形成二元合金的材料的组合；所述的第一保护层厚度为100nm－200nm，所述的掩模层厚度为2nm－30nm，所述的第二保护层厚度为10nm－50nm。本发明的带有氧化物掩模的局域微缩光刻膜，采用超分辨近场结构和无机热阻膜结合的多层膜结构。在微纳米加工过程中，采用此多层膜结构制作光刻原片，利用普通曝光系统或直写式曝光系统实现曝光，能够简单获得高分辨率的曝光图形。能够在简单地获得高分辨率曝光图形的同时，有效增加纳米构造的高度。
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公开(公告)号：CN104465123B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410720452.7
申请日：2014-12-02
申请人： 国家纳米科学中心
CPC分类号： Y02E60/13
摘要： 本发明提供了一种三维C@MnO2复合纳米管阵列超级电容器电极材料及其制备方法和用途，所述材料内部为纳米管状碳层，外部为MnO2材料；其制备方法包括：(1)对柔性碳纤维布进行预处理和磁控溅射沉积氧化锌薄膜；(2)氧化锌纳米棒的阵列生长；(3)制备表面包覆有薄层碳的氧化锌纳米棒阵列碳布；(4)以步骤(3)得到的碳布作为工作电极采用三电极电沉积系统进行二氧化锰的电化学沉积并进行冲洗、干燥得到具有三维C@MnO2纳米管状阵列结构的超级电容电极材料。该材料将导电性好的碳材料与比电容高、导电性较差的MnO2复合起来，充分发挥二者的优势，而且中空的纳米管利于电解液离子的进出，可大幅度提高电容器的倍率性能。
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