一种用于扫描电镜和能谱仪校准的参考样品及制备方法

    公开(公告)号:CN115931941A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211487999.8

    申请日:2022-11-25

    IPC分类号: G01N23/2202 G01N23/2251

    摘要: 本发明涉及一种用于扫描电镜和能谱仪校准的参考样品及制备方法,属于扫描电镜校准参考样品制备技术领域。该参考样品包括铜‑铝连接体、镶嵌体和表面碳膜,铜‑铝连接体设置有扫描电镜校准标识和能谱峰位校准标识,扫描电镜校准标识包括低倍校准标识、中倍校准标识和高倍校准标识,标识由正交十字栅格组成,设置在铜‑铝连接体的铜侧;能谱峰位校准标识包括两条与铜‑铝界面平行的标识线,分别设置在铜‑铝界面的两侧。该样品可用于扫描电镜放大倍率、图像线性失真度、能谱峰位、能量分辨率和高低能端峰高比等多参数的检查和校准。该样品的制备方法操作简单,成本较低,适合实验室自制,参考样品在校准过程使用时较为方便快捷。

    一种透射电镜测量薄膜样品厚度的方法

    公开(公告)号:CN115265444A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202210724617.2

    申请日:2022-09-26

    IPC分类号: G01B21/08

    摘要: 本发明公开了属于材料的检测分析技术领域的一种透射电镜测量薄膜样品厚度的方法。利用会聚电子束在样品表面作用产生碳污染斑,将试样倾转一定的角度γ后,碳污染斑在明场像的形状尺寸发生变化,相互分离为具有一定距离的两个斑,通过测量上下表面碳污染斑之间的分离距离r,以及试样倾转角度γ,并利用几何关系t=r/sinγ获得目标区域的样品厚度。本发明对样品本身的晶体结构没有限制,适用于非晶和晶态的样品,对于样品的厚度没有限制,能在透射电镜下进行观察的样品,电子束可以穿透样品可以成明场像,因此其样品厚度均可测量;可实现对样品快速、简单方便的测量、成本低,适用范围广,可实施性强。

    一种透射电镜测量薄膜样品厚度的方法

    公开(公告)号:CN115265444B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202210724617.2

    申请日:2022-09-26

    IPC分类号: G01B21/08

    摘要: 本发明公开了属于材料的检测分析技术领域的一种透射电镜测量薄膜样品厚度的方法。利用会聚电子束在样品表面作用产生碳污染斑,将试样倾转一定的角度γ后,碳污染斑在明场像的形状尺寸发生变化,相互分离为具有一定距离的两个斑,通过测量上下表面碳污染斑之间的分离距离r,以及试样倾转角度γ,并利用几何关系t=r/sinγ获得目标区域的样品厚度。本发明对样品本身的晶体结构没有限制,适用于非晶和晶态的样品,对于样品的厚度没有限制,能在透射电镜下进行观察的样品,电子束可以穿透样品可以成明场像,因此其样品厚度均可测量;可实现对样品快速、简单方便的测量、成本低,适用范围广,可实施性强。