一种用于扫描电镜和能谱仪校准的参考样品及制备方法

    公开(公告)号:CN115931941A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211487999.8

    申请日:2022-11-25

    IPC分类号: G01N23/2202 G01N23/2251

    摘要: 本发明涉及一种用于扫描电镜和能谱仪校准的参考样品及制备方法,属于扫描电镜校准参考样品制备技术领域。该参考样品包括铜‑铝连接体、镶嵌体和表面碳膜,铜‑铝连接体设置有扫描电镜校准标识和能谱峰位校准标识,扫描电镜校准标识包括低倍校准标识、中倍校准标识和高倍校准标识,标识由正交十字栅格组成,设置在铜‑铝连接体的铜侧;能谱峰位校准标识包括两条与铜‑铝界面平行的标识线,分别设置在铜‑铝界面的两侧。该样品可用于扫描电镜放大倍率、图像线性失真度、能谱峰位、能量分辨率和高低能端峰高比等多参数的检查和校准。该样品的制备方法操作简单,成本较低,适合实验室自制,参考样品在校准过程使用时较为方便快捷。