公开(公告)号：CN118541876A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202280083505.1

申请日：2022-10-21

申请人： 国立大学法人东北大学 ,  国立研究开发法人情报通信研究机构 ,  信越化学工业株式会社

发明人： 吹留博一 ,  末光哲也 ,  渡边一世 ,  川原实 ,  秋山昌次 ,  飞坂优二 ,  川合信

IPC分类号： H01Q23/00 ,  C01B32/184 ,  H01L21/338 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812 ,  H01P11/00 ,  H01Q1/38

摘要： 提供一种适合用于从数10GHz至100GHz以上的信号频带的天线模块。所述天线模块包括：其中至少最上表面为碳化硅的单晶的基板；设置为与基板的最上面接触的单晶石墨烯层；和设置在基板上的氮化镓层。该天线模块的特征在于，通过将石墨烯层中未被氮化镓层覆盖的区域图案化而形成的天线元件部、在氮化镓层上形成的有源元件部、和连接天线元件部和有源元件部的连接部一体地形成。