公开(公告)号：CN117881265A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202311626356.1

申请日：2023-11-30

Applicant: 国网冀北电力有限公司唐山供电公司 ,  西安交通大学 ,  国家电网有限公司

Inventor： 袁燕岭 ,  高岭 ,  赵一明 ,  高俊福 ,  张立兴 ,  贾进 ,  田新成 ,  陈昕 ,  高中强 ,  张智焜 ,  李智研 ,  王英杰 ,  李颖 ,  仁宗强 ,  吴明

IPC: H10N30/078 ,  H10N30/093 ,  H10N30/853 ,  H01L21/66

Abstract: 一种厚度可控PZT薄膜及其制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：称取三水合醋酸铅、正丙氢氧化锆、异丙酸钛加入溶胶瓶并配制溶胶；在Pt/Mica基底上多次旋涂所述溶胶以获得PZT薄膜；对不同厚度的所述PZT薄膜的压电性能进行检测，以确认量产PZT薄膜的制备工艺。