公开(公告)号：CN100590797C

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200510124674.3

申请日：2005-11-14

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 陈佳 ,  阿里·阿夫扎利-阿达卡尼 ,  克里斯蒂·卡林科 ,  费顿·阿沃利斯 ,  迪米特里·V.·塔拉平 ,  克里斯托弗·默里

IPC: H01L21/24 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L21/22 ,  B82Y10/00 ,  H01L51/002 ,  H01L51/0048 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/938

Abstract: 提供了对纳米部件的掺杂方法，包括纳米管、纳米晶体和纳米线，该方法通过将纳米部件暴露于含有机胺的掺杂剂中进行掺杂。也提供了制作包含已经用这样的掺杂剂进行掺杂的纳米部件的场效应晶体管的方法。

公开(公告)号：CN1841664A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200510124674.3

申请日：2005-11-14

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 陈佳 ,  阿里·阿夫扎利-阿达卡尼 ,  克里斯蒂·卡林科 ,  费顿·阿沃利斯 ,  迪米特里·V.·塔拉平 ,  克里斯托弗·默里

IPC: H01L21/24 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L21/22 ,  B82Y10/00 ,  H01L51/002 ,  H01L51/0048 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/938

Abstract: 提供了对纳米部件的掺杂方法，包括纳米管、纳米晶体和纳米线，该方法通过将纳米部件暴露于含有机胺的掺杂剂中进行掺杂。也提供了制作包含已经用这样的掺杂剂进行掺杂的纳米部件的场效应晶体管的方法。