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公开(公告)号：CN103512665B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310238257.6
申请日：2013-06-17
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 本发明涉及用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物。一种包括垂直天线的THz辐射检测器，该垂直天线被热隔离气隙从悬空平台分离，用于将THz辐射能集中到热传感器元件所位于的悬空MEMS平台。THz光子能经耦合电容器的极板之间的热隔离气隙转换为电能，该极板由确定空隙距离的多个纳米尖端间隔物分离。所述电容器将能量从天线耦合到热传感器。
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公开(公告)号：CN101035739B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200580034207.X
申请日：2005-09-29
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0018 , F03G7/06 , F03G7/065 , H01H2037/008
Abstract: 一种微系统，包括第一静态元件(1)，第二可移动并且独立的元件(2)，用于在所述第一和第二元件(1、2)之间产生力的致动器(3)，所述致动器(3)被设计为控制所述第一元件(1)和所述第二元件(2)之一的温度(T1、T2)。介绍了在微系统中用于相对于第一元件(1)来定位第二元件(2)的相应方法。
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公开(公告)号：CN1496333A
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN02803671.9
申请日：2002-01-11
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B81B3/00 , B81C1/00 , H01L21/308 , C23F13/14
CPC classification number: H01L21/30604 , B81B2201/12 , B81B2203/0118 , B81C1/00801 , B81C2201/0107 , B81C2201/0114 , B81C2201/0133 , C23F13/14
Abstract: 一种在制造期间保护微结构材料不受不希望的电腐蚀的方法，所述结构包括所述材料和贵金属层(8)，该方法包括在结构上形成具有的氧化还原电位比所述材料低的牺牲金属层(12)，该牺牲金属层电连接到所述贵金属层(8)。
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公开(公告)号：CN102822931B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201180016557.9
申请日：2011-03-29
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： M·德蓬
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H49/00 , H01H59/00 , H01H59/0009
Abstract: 本发明提供了一种集成式机电致动器和一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。所述集成式机电致动器包括致动器电极之间的静电致动器间隙和接触电极之间的电接触间隙。在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。此电接触间隙的厚度等于在制造过程中通过蚀刻被除去的牺牲层的厚度。
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公开(公告)号：CN100458484C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200610168937.5
申请日：2006-11-14
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: G02B6/4232 , G02B6/4249 , H05K1/0274 , H05K1/184 , H05K2201/10121
Abstract: 根据本发明的光电板包括具有光波导(9，10，11)、金属区(8；12)和孔(19)的印刷布线板(1)，其中光波导(9，10，11)的接合面(10.1)和金属区(8；12)的接合面形成孔(19)的侧面的部分。光电板还包括具有焊盘(21；22)的光电电路(20；26，27)，其中光电电路(20；26，27)布置在孔(19)中，并用它的焊盘(21；22)焊接到金属区(8；12)的接合面。其中所述焊盘(21；22)具有和所述金属区(8；12)的接合面的高度基本相同的高度(h)，或者所述焊盘(21；22)具有和所述金属区(8；12)的接合面的宽度基本相同的宽度(w)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102906846A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201180025382.8
申请日：2011-06-08
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: H01H59/00 , H01H47/00 , H01H59/0009
Abstract: 本发明涉及一种机电开关装置（100、200），其包括第一开关部分（111、112、211、212）、第二开关部分（121、122、220）和致动器装置（130、230）。所述致动器装置（130、230）被配置为提供致动力，由此使所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）相对于彼此被致动，以从断开状态改变为连接状态。所述致动器装置（130、230）还被配置为至少当所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）处于连接状态时，提供具有调制的致动力。本发明还涉及一种操作机电开关装置（100、200）的方法。
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公开(公告)号：CN102822931A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201180016557.9
申请日：2011-03-29
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： M·德蓬
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H49/00 , H01H59/00 , H01H59/0009
Abstract: 本发明提供了一种集成式机电致动器和一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。所述集成式机电致动器包括致动器电极之间的静电致动器间隙和接触电极之间的电接触间隙。在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。此电接触间隙的厚度等于在制造过程中通过蚀刻被除去的牺牲层的厚度。
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公开(公告)号：CN1991428A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200610168937.5
申请日：2006-11-14
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: G02B6/4232 , G02B6/4249 , H05K1/0274 , H05K1/184 , H05K2201/10121
Abstract: 根据本发明的光电板包括具有光波导(9，10，11)、金属区(8；12)和孔(19)的印刷布线板(1)，其中光波导(9，10，11)的接合面(10.1)和金属区(8；12)的接合面形成孔(19)的侧面的部分。光电板还包括具有焊盘(21；22)的光电电路(20；26，27)，其中光电电路(20；26，27)布置在孔(19)中，并用它的焊盘(21；22)焊接到金属区(8；12)的接合面。
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公开(公告)号：CN1215968C
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN02803671.9
申请日：2002-01-11
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B81B3/00 , B81C1/00 , H01L21/308 , C23F13/14
CPC classification number: H01L21/30604 , B81B2201/12 , B81B2203/0118 , B81C1/00801 , B81C2201/0107 , B81C2201/0114 , B81C2201/0133 , C23F13/14
Abstract: 一种在制造期间保护微结构材料不受不希望的电腐蚀的方法，所述结构包括所述材料和贵金属层(8)，该方法包括在结构上形成具有的氧化还原电位比所述材料低的牺牲金属层(12)，该牺牲金属层电连接到所述贵金属层(8)。
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公开(公告)号：CN102906846B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180025382.8
申请日：2011-06-08
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: H01H59/00 , H01H47/00 , H01H59/0009
Abstract: 本发明涉及一种机电开关装置（100、200），其包括第一开关部分（111、112、211、212）、第二开关部分（121、122、220）和致动器装置（130、230）。所述致动器装置（130、230）被配置为提供致动力，由此使所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）相对于彼此被致动，以从断开状态改变为连接状态。所述致动器装置（130、230）还被配置为至少当所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）处于连接状态时，提供具有调制的致动力。本发明还涉及一种操作机电开关装置（100、200）的方法。
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