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公开(公告)号:CN1134397A
公开(公告)日:1996-10-30
申请号:CN95120028.3
申请日:1995-12-01
发明人: 江·阿尔弗雷德·卡西 , 卡拉·纳塔利亚·科德罗 , 本杰明·维托·法萨诺 , 戴维·布赖恩·高兰 , 罗伯特·汉农 , 焦纳森·H·哈里斯
IPC分类号: C01B21/072
CPC分类号: C04B41/009 , B22F7/02 , B22F2998/00 , C04B41/5133 , C04B41/52 , C04B41/88 , C04B41/89 , C04B2111/00405 , C04B2111/00844 , C22C29/16 , H01L21/4846 , H01L21/486 , H01L23/3731 , H01L2924/0002 , H05K1/0306 , H05K3/248 , H05K3/4061 , H05K3/4611 , H05K3/4629 , H05K2201/035 , H05K2201/09981 , Y10S428/901 , Y10T428/12021 , Y10T428/12028 , Y10T428/12056 , Y10T428/31678 , C04B41/4578 , C04B41/5063 , C04B41/524 , C04B35/581 , B22F2207/03 , H01L2924/00
摘要: 所公开的是一种具有分段冶炼结构的氮化铝体及一种用于制造这种体的方法。该氮化铝体具有至少一个通孔及包括一层与该氮化铝体直接接触的第一层及与第一层直接接触并完全密封第一层的第二层。第一层包括百分之30至60体积的氮化铝和百分之40至70体积的钨和/或钼,而第二层包括百分之90至100体积的钨和/或钼及百分之0至10体积的氮化铝。
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公开(公告)号:CN1043462C
公开(公告)日:1999-05-26
申请号:CN95120028.3
申请日:1995-12-01
发明人: 江·阿尔弗雷德·卡西 , 卡拉·纳塔利亚·科德罗 , 本杰明·维托·法萨诺 , 戴维·布赖恩·高兰 , 罗伯特·汉农 , 焦纳森·H·哈里斯
CPC分类号: C04B41/009 , B22F7/02 , B22F2998/00 , C04B41/5133 , C04B41/52 , C04B41/88 , C04B41/89 , C04B2111/00405 , C04B2111/00844 , C22C29/16 , H01L21/4846 , H01L21/486 , H01L23/3731 , H01L2924/0002 , H05K1/0306 , H05K3/248 , H05K3/4061 , H05K3/4611 , H05K3/4629 , H05K2201/035 , H05K2201/09981 , Y10S428/901 , Y10T428/12021 , Y10T428/12028 , Y10T428/12056 , Y10T428/31678 , C04B41/4578 , C04B41/5063 , C04B41/524 , C04B35/581 , B22F2207/03 , H01L2924/00
摘要: 所公开的是一种具有分段冶炼结构的氮化铝体及一种用于制造这种体的方法。该氮化铝体具有至少一个通孔及包括一层与该氮化铝体直接接触的第一层及与第一层直接接触并完全密封第一层的第二层。第一层包括百分之30至60体积的氮化铝和百分之40至70体积的钨和/或钼,而第二层包括百分之90至100体积的钨和/或钼及百分之0至10体积的氮化铝。
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