-
公开(公告)号:CN102668106A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080046469.9
申请日:2010-10-14
申请人: 埃尔塔设备公司
IPC分类号: H01L31/0232 , H01L31/0236
CPC分类号: H01L31/02327 , H01L31/0236 , H01L31/02366 , H01L31/0304 , H01L31/03046 , H01L31/056 , H01L31/0693 , H01L31/18 , H01L31/184 , H01L31/1844 , H01L31/1852 , H01L31/208 , Y02E10/50 , Y02E10/52 , Y02E10/544
摘要: 本发明的实施方案一般来说涉及用作太阳能装置或其它电子装置的薄膜的装置制造,且包含用于太阳能应用中的具有特定结构的背反射物。在一个实施方案中,一种用于形成具有特定结构的金属背反射物的方法,所述方法包括:将金属层沉积在薄膜堆叠内的砷化镓材料上;在退火工艺期间从所述金属层形成金属岛的阵列;从所述砷化镓材料去除或蚀刻材料以在所述金属岛之间形成孔隙;以及沉积金属反射物层以填充所述孔隙并且覆盖所述金属岛。在另一个实施方案中,一种具有特定结构的金属背反射物包含:金属岛的阵列,其设置在砷化镓材料上;多个孔隙,其设置在所述金属岛之间并且延伸进入所述砷化镓材料;金属反射物层,其设置在所述金属岛上方;以及多个反射物突出体,其在所述金属岛之间形成并且从所述金属反射物层延伸且进入在所述砷化镓材料中形成的所述孔隙。
-
公开(公告)号:CN102668106B
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201080046469.9
申请日:2010-10-14
申请人: 埃尔塔设备公司
IPC分类号: H01L31/0232 , H01L31/0236 , H01L31/054
CPC分类号: H01L31/02327 , H01L31/0236 , H01L31/02366 , H01L31/0304 , H01L31/03046 , H01L31/056 , H01L31/0693 , H01L31/18 , H01L31/184 , H01L31/1844 , H01L31/1852 , H01L31/208 , Y02E10/50 , Y02E10/52 , Y02E10/544
摘要: 本发明的实施方案一般来说涉及用作太阳能装置或其它电子装置的薄膜的装置制造,且包含用于太阳能应用中的具有特定结构的背反射物。在一个实施方案中,一种用于形成具有特定结构的金属背反射物的方法,所述方法包括:将金属层沉积在薄膜堆叠内的砷化镓材料上;在退火工艺期间从所述金属层形成金属岛的阵列;从所述砷化镓材料去除或蚀刻材料以在所述金属岛之间形成孔隙;以及沉积金属反射物层以填充所述孔隙并且覆盖所述金属岛。在另一个实施方案中,一种具有特定结构的金属背反射物包含:金属岛的阵列,其设置在砷化镓材料上;多个孔隙,其设置在所述金属岛之间并且延伸进入所述砷化镓材料;金属反射物层,其设置在所述金属岛上方;以及多个反射物突出体,其在所述金属岛之间形成并且从所述金属反射物层延伸且进入在所述砷化镓材料中形成的所述孔隙。
-