公开(公告)号：CN1120249C

公开(公告)日：2003-09-03

申请号：CN98807069.3

申请日：1998-07-14

Applicant: 塞姆特里克斯公司

Inventor： 卡洛斯·A·帕兹德阿罗 ,  拉里·D·麦克米伦 ,  纳拉严·索拉亚攀 ,  杰弗里·W·培根

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  H01L21/314

CPC classification number: C23C16/45565 ,  B05D1/007 ,  B05D1/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  C23C16/45561 ,  C23C18/12 ,  H01L21/31691 ,  H01L28/55

Abstract: 一文丘里雾发生器(141、142、143、16)从一含有有机金属化合物的液态前体生成雾，其中的雾滴的直径小于1μm。雾混合后送入一气化器(160)，在该气化器中雾滴在低于该前体化合物发生分解的温度的100℃-250℃下气化。气化前体化合物在绝热管道(161、168)中在室温下由载气传送，以防止凝结和过早分解。由气化前体与氧化剂气体混合成的气态反应混合物从一喷头(184)喷入一沉积反应器中，该沉积反应器中有一加热到300℃-600℃的基片(185)。该气化前体在基片(185)上分解而在基片上生成一固体材料薄膜(860)。该薄膜(860)经500℃-900℃的高温处理，生成多晶金属氧化物材料、特别是铁电分层超点阵材料。

公开(公告)号：CN1263569A

公开(公告)日：2000-08-16

申请号：CN98807069.3

申请日：1998-07-14

Applicant: 塞姆特里克斯公司

Inventor： 卡洛斯·A·帕兹德阿罗 ,  拉里·D·麦克米伦 ,  纳拉严·索拉亚攀 ,  杰弗里·W·培根

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  H01L21/314

CPC classification number: C23C16/45565 ,  B05D1/007 ,  B05D1/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  C23C16/45561 ,  C23C18/12 ,  H01L21/31691 ,  H01L28/55

Abstract: 一文丘里雾发生器(141、142、143、16)从一含有有机金属化合物的液态前体生成雾,其中的雾滴的直径小于1μm。雾混合后送入一气化器(160),在该气化器中雾滴在低于该前体化合物发生分解的温度的100℃—250℃下气化。气化前体化合物在绝热管道(161、168)中在室温下由载气传送,以防止凝结和过早分解。由气化前体与氧化剂气体混合成的气态反应混合物从一喷头(184)喷入一沉积反应器中,该沉积反应器中有一加热到300℃—600℃的基片(185)。该气化前体在基片(185)上分解而在基片上生成一固体材料薄膜(860)。该薄膜(860)经500℃—900℃的高温处理,生成多晶金属氧化物材料、特别是铁电分层超点阵材料。