树脂涂布装置及树脂涂布完成的构件的制造方法

    公开(公告)号:CN106132565A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201580014320.5

    申请日:2015-02-16

    CPC classification number: B05D1/305 B05B15/68 B05C5/0254 B05D1/007

    Abstract: 本发明提供一种能使构件与涂布头之间的距离设成较大的树脂涂布装置及树脂涂布完成的构件的制造方法。树脂涂布装置(1)具备:载置要涂布树脂(13)的构件的载置台(12);对载置于载置台(12)的构件(11)吐出树脂(13)的涂布头(14);使涂布头(14)相对于载置台(12)相对性移动的移动装置(15);以及对载置台(12)与涂布头(14)之间施加电压的电源装置(17)。树脂涂布完成的构件的制造方法,将构件(11)载置于载置台(12),并将涂布头(14)配置于构件(11)的上方,维持对载置台(12)与涂布头(14)之间施加电压的状态,且在从涂布头(14)吐出树脂(13)的狀態下使涂布头(14)往沿着载置面(12f)的方向相对于载置台(11)相对性移动,从而进行对构件(11)涂布树脂(13)。

    成膜方法、成膜装置和结构体

    公开(公告)号:CN105220116A

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201510292827.9

    申请日:2015-05-28

    Abstract: 本发明提供能够提高形成的膜的致密性和附着性,形成即使在薄膜状态下也具有高绝缘耐压性的绝缘膜的成膜方法、成膜装置和结构体。本发明一个实施方式的成膜方法通过向容纳有电绝缘性原料粒子的封闭容器导入气体,生成上述原料粒子的气溶胶,经由与上述封闭容器连接的输送管,向与上述封闭容器相比维持在低压的成膜室输送上述气溶胶,从装配在上述输送管的前端的喷嘴向设置在上述成膜室中的靶喷射上述气溶胶,通过使上述原料粒子与上述靶碰撞,使上述原料粒子带正电,通过带电的上述原料粒子放电,生成上述原料粒子的微细粒子,使上述微细粒子堆积在设置在上述成膜室中的基材上。

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