-
公开(公告)号：CN112600528B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202011463918.1
申请日：2020-12-11
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种弱耦合谐振器，涉及微机电系统技术领域，包括：由第一固定端和第二固定端固定的固支直梁；吸附在固支直梁上的质量吸附块；由第三固定端和第四固定端固定的固支余弦曲梁；固支余弦曲梁由驱动电压源通过固定电极驱动；第一固定端与直梁耦合电压源相连接；第三固定端与余弦曲梁耦合电压源相连接；固支直梁和固支余弦曲梁之间通过直梁耦合电压源和余弦曲梁耦合电压源产生的静电力进行直流电压耦合；通过调节驱动电压和耦合电压的大小，弱耦合谐振器在微质量传感器与MEMS带通滤波器之间功能切换。本发明能够进行微质量传感器和MEMS带通滤波器之间的随意切换，并且具有工艺简单，构型稳定易于加工等优点。
-
公开(公告)号：CN112710865B
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202011460351.2
申请日：2020-12-11
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01P15/00
摘要： 本发明公开了一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器，包括：第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定；第一质量块左端与第一铰接端相连；第一铰接端与第二固定端相连；第二固支梁置于第一固支梁左侧，其两端通过第二固定端和第二质量块固定；第二质量块右端与第二铰接端相连；第二铰接端与第一固定端相连；第一固支梁与第二固支梁之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在第二固支梁上，用于调整第一固支梁和第二固支梁之间的静电耦合强度；第一固支梁、第二固支梁分别通过第一固定激励电极、第二固定激励电极调节驱动力。本发明能够实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整，具有高灵敏度，鲁棒性强等优点。
-
公开(公告)号：CN112595393A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011463988.7
申请日：2020-12-11
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器，属于微机电系统技术领域，包括：厚度不等的第一固支梁和第二固支梁；第一固定端对称分布于第一固支梁两端，第二固定端对称分布于第二固支梁两端；上耦合电极固定在第一固支梁的下表面，下耦合电极固定在第二固支梁的上表面；上耦合电极与下耦合电极之间由直流电压构成静电耦合；第一固支梁由驱动电源通过驱动电极驱动；当调节第一固支梁和第二固支梁的厚度为预设值，并通过驱动电压对第一固支梁驱动以及耦合电压产生静电耦合时，第一固支梁工作在三阶模态，第二固支梁工作在二阶模态。相较于传统的激励一阶模态的传感器，本发明的灵敏度更高，可用于检测病毒、蛋白质、化学药品等物质。
-
公开(公告)号：CN112600528A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011463918.1
申请日：2020-12-11
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种弱耦合谐振器，涉及微机电系统技术领域，包括：由第一固定端和第二固定端固定的固支直梁；吸附在固支直梁上的质量吸附块；由第三固定端和第四固定端固定的固支余弦曲梁；固支余弦曲梁由驱动电压源通过固定电极驱动；第一固定端与直梁耦合电压源相连接；第三固定端与余弦曲梁耦合电压源相连接；固支直梁和固支余弦曲梁之间通过直梁耦合电压源和余弦曲梁耦合电压源产生的静电力进行直流电压耦合；通过调节驱动电压和耦合电压的大小，弱耦合谐振器在微质量传感器与MEMS带通滤波器之间功能切换。本发明能够进行微质量传感器和MEMS带通滤波器之间的随意切换，并且具有工艺简单，构型稳定易于加工等优点。
-
公开(公告)号：CN111982970A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010851831.5
申请日：2020-08-21
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01N27/00
摘要： 本发明提供一种小尺寸便携式空气离子检测仪，其特征在于：外壳，是由壳体和背板构成的中空封闭结构；采集部，由两个弧形薄板置于壳体内组成采集管道，分别为收集极板和极化极板，在收集极板和极化极板之间存在收集空气离子的极化电压；检测电路，检测电路板固定在壳体的卡槽上，检测电路板通过导线与采集部相连；动力部，设置在采集管道的入口处，将空气由外壳外送入到采集管道之内；空气中的离子在极化电场的作用下被收集极板所吸引，所产生电流信号被检测电路板采集，检测电路板将放大后的电压信号转化为数字信号传输给单片机进行数据处理。本发明能够有效避免管内流场分布不均产生的误差，且大大缩减装置尺寸，便于清洗与携带。
-
公开(公告)号：CN111982970B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202010851831.5
申请日：2020-08-21
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01N27/00
摘要： 本发明提供一种小尺寸便携式空气离子检测仪，其特征在于：外壳，是由壳体和背板构成的中空封闭结构；采集部，由两个弧形薄板置于壳体内组成采集管道，分别为收集极板和极化极板，在收集极板和极化极板之间存在收集空气离子的极化电压；检测电路，检测电路板固定在壳体的卡槽上，检测电路板通过导线与采集部相连；动力部，设置在采集管道的入口处，将空气由外壳外送入到采集管道之内；空气中的离子在极化电场的作用下被收集极板所吸引，所产生电流信号被检测电路板采集，检测电路板将放大后的电压信号转化为数字信号传输给单片机进行数据处理。本发明能够有效避免管内流场分布不均产生的误差，且大大缩减装置尺寸，便于清洗与携带。
-
公开(公告)号：CN112595393B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202011463988.7
申请日：2020-12-11
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器，属于微机电系统技术领域，包括：厚度不等的第一固支梁和第二固支梁；第一固定端对称分布于第一固支梁两端，第二固定端对称分布于第二固支梁两端；上耦合电极固定在第一固支梁的下表面，下耦合电极固定在第二固支梁的上表面；上耦合电极与下耦合电极之间由直流电压构成静电耦合；第一固支梁由驱动电源通过驱动电极驱动；当调节第一固支梁和第二固支梁的厚度为预设值，并通过驱动电压对第一固支梁驱动以及耦合电压产生静电耦合时，第一固支梁工作在三阶模态，第二固支梁工作在二阶模态。相较于传统的激励一阶模态的传感器，本发明的灵敏度更高，可用于检测病毒、蛋白质、化学药品等物质。
-
公开(公告)号：CN112710865A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011460351.2
申请日：2020-12-11
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01P15/00
摘要： 本发明公开了一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器，包括：第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定；第一质量块左端与第一铰接端相连；第一铰接端与第二固定端相连；第二固支梁置于第一固支梁左侧，其两端通过第二固定端和第二质量块固定；第二质量块右端与第二铰接端相连；第二铰接端与第一固定端相连；第一固支梁与第二固支梁之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在第二固支梁上，用于调整第一固支梁和第二固支梁之间的静电耦合强度；第一固支梁、第二固支梁分别通过第一固定激励电极、第二固定激励电极调节驱动力。本发明能够实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整，具有高灵敏度，鲁棒性强等优点。
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
8 条记录 (耗时 0.02 秒)
