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公开(公告)号:CN110238746B
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN201910576337.X
申请日:2019-06-28
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明公开了一种FV520B材料叶轮叶片的化学机械抛光方法与抛光液,该抛光方法为:叶轮叶片在化学机械抛光液中旋转,使FV520B材料叶轮叶片表面与化学试剂发生化学反应,同时通过磨料与叶片表面的刮擦机械作用,将其表面残料去除;其中化学机械抛光液包含种磨粒、氧化剂、表面活性剂、光亮剂、溶解剂和去离子水。本发明提出的叶轮叶片化学机械抛光方法较其传统的机械加工、化学刻蚀、手工抛光等方式操作更简便、叶片表面抛光精度更高、抛光周期更短,研制的FV520B材料抛光液填补了国内外空白,且可有效去除FV520B材料叶轮叶片表面各部位的残料。
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公开(公告)号:CN109773506B
公开(公告)日:2021-01-19
申请号:CN201910147850.7
申请日:2019-02-28
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: B23Q3/00
摘要: 本发明属于机械加工的夹具技术领域,提供了一种整体叶轮加工的夹具装置,包括第一端盖、第二端盖、夹具固定座、第三端盖、第四端盖、中心轴、键和螺栓螺母。所述第一端盖通过键与轴固定,通过螺栓与第二端盖连接;所述第二端盖和第三端盖设有一凸台与夹具固定座配合,并通过螺栓与之连接;所述夹具固定座底端设有通孔,通过螺栓与机床固定;所述第四端盖通过键与轴固定,通过螺栓也叶轮连接;所述中心轴设有一轴肩,用以定位叶轮和第三端盖。本发明结构简单,制造容易,定位准确,装夹稳定安全,拆装方便。
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公开(公告)号:CN112139859A
公开(公告)日:2020-12-29
申请号:CN202010992961.0
申请日:2020-09-21
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明提供了一种无水抛光KDP晶体的方法,实现了KDP晶体材料的高精高效抛光。无水抛光过程分为粗抛光和细抛光,无水抛光液成分包括油酸甲酯、碳化硅/氧化铝混合磨粒和无水碳酸钠,分为无水粗抛光液和无水细抛光液,无水粗抛光液和无水细抛光液之间的区别体现在油酸甲酯粘度、碳化硅/氧化铝混合磨粒的配比、粒径及浓度、无水碳酸钠粒径及浓度。与其他KDP晶体抛光方法相比,无水抛光KDP晶体的方法所用的抛光液化学试剂无毒低害,绿色环保,抛光过程中有效地避免了KDP晶体接触水发生潮解使晶体破坏的现象产生,并有效提高了KDP晶体表面的加工质量。
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公开(公告)号:CN111300167A
公开(公告)日:2020-06-19
申请号:CN202010155918.9
申请日:2020-03-09
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: B24B1/00 , B24B37/00 , B23K26/362
摘要: 本发明属于超精密加工领域,具体涉及一种薄壁复杂结构单晶金刚石惯导器件的超精密加工方法,包括以下步骤:(1)单晶金刚石双面抛光;(2)五轴联动皮秒和飞秒激光复合加工惯导器件形貌结构;(3)惯导器件整体浸入抛光液中进行化学机械抛光。本发明首先通过双面抛光,获得高精度的器件基体;其次通过皮秒和飞秒激光复合刻蚀,实现器件复杂结构的高精高效加工;最后结合超声、加热、电磁等复合能场对将刻蚀好的单晶金刚石惯导器件整体化学机械抛光,完成工件的超精密加工。本发明的复合加工方式,解决了传统的硅和石英惯导器件性制导精度低及单晶金刚石复杂结构器件加工困难,加工表面损伤层大、整体质量差的问题。
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公开(公告)号:CN111266933A
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN202010112309.5
申请日:2020-02-24
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明属于机械加工技术领域,涉及一种薄壁硬脆复杂形状整流罩的超精密加工方法及加工装置。该加工装置为多轴联动数控机床,包括XYZ运动平台和AB旋转轴、磨头主轴系统、数控系统、冷却系统、抛光液系统、在线检测系统、机床基体、机床装夹系统、专用夹具和磨头。该加工方法:采用专用夹具固定成型整流罩毛坯,依次进行粗磨、精磨和抛光,其次通过在线检测装置对抛光表面进行形面检测,并将检测数据点位传给数控系统,经数控系统计算,对不满足加工精度要求的点位进行自动修抛,直至满足要求;采用上述加工步骤先后完成工件内外表面的超精密加工。本发明可以一次装夹可完成粗、精、抛及检测一体化,效率高,精度好。
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公开(公告)号:CN110270919A
公开(公告)日:2019-09-24
申请号:CN201910576307.9
申请日:2019-06-28
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明公开了一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法,该方法通过应用不同组分的化学试剂与磨料组成的混合抛光液,分别对整体叶轮进行粗抛、半精抛及精抛加工。整个抛光过程中只需整体叶轮绕轴线进行旋转运动,即可保证混合抛光液中的化学试剂、磨粒与叶片表面发生化学反应及刮擦,从而实现将整体叶轮表面凹凸不平的部位去除。本发明提供的一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法代替了人工抛光或其他高端装备加工的方式,实现了其自动抛光,且抛光精度好,效率高,成本低。
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公开(公告)号:CN110193755A
公开(公告)日:2019-09-03
申请号:CN201910398045.1
申请日:2019-05-14
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明属于碳纤维复合材料机械加工技术领域,一种碳纤维复合材料磨削加工方法,采用立式数控机床,通过应用杯型金刚石砂轮,对碳纤维复合材料方形平板表面进行立式端面粗磨和精磨加工,包括工件装夹、清洗冷却待加工面、粗磨工件表面、精磨工件表面、清洗冷却吹干并检测已加工面。本发明加工工艺简单,装夹快速稳定,操作方便,刀具磨损小,加工效率高,加工零件表面光洁度好、应力小、无损伤、无分层撕裂等加工缺陷。
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公开(公告)号:CN110183971A
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:CN201910578059.1
申请日:2019-06-28
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明公开了一种整体叶轮的绿色环保混合化学机械抛光液与抛光方法,该绿色环保混合化学机械抛光液包括氧化剂、pH调节剂、添加剂、去离子水和混合磨料。抛光液是以过氧化氢、磷酸等为主要成分,不含硝酸、硫酸等强腐蚀性物质,混合磨料的主要成分为自制的多边形陶瓷磨粒。所述抛光方法为整体叶轮在配制的绿色环保混合化学机械抛光液中做旋转运动,通过抛光液的化学与物理耦合作用,可极大的消除其表面各部位的刀痕纹路,改善表面光洁度,所述抛光液绿色环保。
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公开(公告)号:CN112621552A
公开(公告)日:2021-04-09
申请号:CN202011463726.0
申请日:2020-12-14
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明公开了一种多能场辅助化学机械抛光装备,包括机壳、旋转系统组件、上下移动系统组件、主轴系统、容器、加热模块、超声振动模块、控制系统及升降平台,所述机壳内设有一隔板,旋转系统组件、上下移动系统组件和主轴系统通过隔板连接固定,升降平台固定在机壳内底板上,超声振动模块安装在升降平台上,容器放置固定在超声振动模块上,加热模块贴合固定在容器壁上,控制系统可控制装备的旋转运动、上下移动、超声振动及加热等参数。本发明设计的装备通过进行单独的旋转运动、上下移动或两者的耦合运动,同时进行加热和超声振动,可实现工件尤其是复杂结构件的多能场辅助化学机械抛光。
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公开(公告)号:CN110270892B
公开(公告)日:2021-02-19
申请号:CN201910576344.X
申请日:2019-06-28
申请人: 大连理工大学 , 沈阳透平机械股份有限公司
摘要: 本发明公开了一种复杂曲面叶轮叶片的超声震动辅助CMP方法,该方法在超声震动装置的辅助下,通过化学抛光液对叶片进行软化腐蚀,再加上叶轮的旋转,使磨料对叶片进行快速高频的撞击、刮擦,从而实现对叶片表面残料的去除,完成其化学机械抛光。本发明加工方法可实现对任何复杂曲面叶轮叶片的自动精密抛光,代替进口专用设备和人工抛光。
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