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公开(公告)号:CN107021506A
公开(公告)日:2017-08-08
申请号:CN201710314844.7
申请日:2017-05-09
Applicant: 大连理工大学
IPC: C01B39/38
CPC classification number: C01B39/38 , C01P2002/72 , C01P2004/03
Abstract: 一种制备纳米级ZSM‑5沸石分子筛的方法,属于分子筛合成技术领域。向氢氧化钠溶液中添加硅溶胶,机械搅拌至完全溶解,为溶液A;将十八水硫酸铝溶液逐滴加到溶液A中,滴加结束后,继续机械搅拌,室温陈化2h形成均匀凝胶;向均匀凝胶中添加纳米级的Na型ZSM‑5分子筛作为晶种,搅拌5min,在釜内静置晶化,晶化温度为175℃,晶化时间为24~72h;收集下层固体,用去离子水离心洗涤至PH为中性,烘干、研磨得到Na型ZSM‑5分子筛原粉。避免使用昂贵有毒的有机模板剂,极大地降低了生产成本。避免了高温煅烧这一步骤,既简化了制备工序,又保持了分子筛骨架的完整性。
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公开(公告)号:CN104503012A
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201410802449.X
申请日:2014-12-18
Applicant: 大连理工大学
CPC classification number: G02B5/1857 , G03F7/0002
Abstract: 本发明涉及一种单层纳米金属光栅的制备方法,属于纳米制造技术领域,所述制备方法包括如下步骤:①先将基底涂上压印胶,再将具有纳米光栅图形的压印模板压入压印胶,得到一维纳米光栅结构的压印胶层,最后将压印残胶层去除;②在基底上有纳米光栅图形的一面沉积金属层,在压印胶层的上面形成上层金属纳米光栅层,在基底的上面形成下层金属纳米光栅层;③将压印胶层去除,得到单层纳米金属光栅,本发明有益效果为工艺步骤简单,操作容易,成本低,制作周期短及适合批量生产。
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公开(公告)号:CN105547236B
公开(公告)日:2017-10-24
申请号:CN201510897180.2
申请日:2015-12-08
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01C1/00
Abstract: 本发明公开了一种仿生方向分析器,包括方向信息获取器件、数据处理模块;所述方向信息获取器件用于探测天空光的偏振特性、将光信号转换为电信号;所述数据处理模块接收方向信息获取器件传送的电信号对该电信号进行计算处理获取方向信息。本发明的仿生方向分析器中每个纳米光栅与其下方对应的感光像素阵列构成了偏振敏感单元,实现入射天空光的偏振态探测以及光电转换。本发明利用天空可见光的偏振态在大气中相对稳定的分布模式,经过方向信息获取器件及数据处理模块,推导解算出方向信息。
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公开(公告)号:CN101714591B
公开(公告)日:2012-03-14
申请号:CN200910219830.2
申请日:2009-11-10
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明一种硅光电二极管的制作方法属于半导体器件制作领域,尤其涉及一种硅光电二极管的制作方法。本发明采用绝缘体上硅晶片作衬底,绝缘体上硅晶片包括支撑硅片、二氧化硅埋层和器件层。采用干法刻蚀工艺在器件层上先加工一个闭环的隔离沟槽;在绝缘体上硅晶片的器件层上表面上生长一定厚度的二氧化硅层,透过二氧化硅层在器件层进行离子注入掺杂,得到P型掺杂区和N型掺杂区。采用溅射的方法在器件层上表面上先后生长一定厚度的钛金属层和铝金属层,经光刻形成正电极和负电极,最后得到硅光电二极管结构。本发明提供的制作方法工艺简单,可靠性高,有良好的重复性和稳定性,可与其它器件进行集成。
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公开(公告)号:CN105547236A
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201510897180.2
申请日:2015-12-08
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01C1/00
CPC classification number: G01C1/00
Abstract: 本发明公开了一种仿生方向分析器,包括方向信息获取器件、数据处理模块;所述方向信息获取器件用于探测天空光的偏振特性、将光信号转换为电信号;所述数据处理模块接收方向信息获取器件传送的电信号对该电信号进行计算处理获取方向信息。本发明的仿生方向分析器中每个纳米光栅与其下方对应的感光像素阵列构成了偏振敏感单元,实现入射天空光的偏振态探测以及光电转换。本发明利用天空可见光的偏振态在大气中相对稳定的分布模式,经过方向信息获取器件及数据处理模块,推导解算出方向信息。
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公开(公告)号:CN101852614A
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN201010203062.4
申请日:2010-06-10
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明导航传感器的微型偏振光检测装置属于传感器设计领域,特别涉及了一种仿照昆虫复眼结构设计的导航传感器的微型偏振光检测装置。检测装置有三个通道,每个通道由两个单元组,共六个单元。每个单元都具有一个微型光栅和一个光电薄膜来模拟昆虫复眼的一种神经感杆。装置的底层为绝缘体上硅晶片有三层:基地硅、二氧化硅埋层和N型掺杂硅基底,六个单元建立在N型掺杂硅基底上。本发明具有结构简单,体积小,精度高等特点。通过这种方法得到的导航角度信息可靠性高,对环境的鲁棒性高,精度高,实时性高,可以用于要求较高的导航系统中。
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公开(公告)号:CN103822629B
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201410088363.5
申请日:2014-03-11
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多方向偏振光导航传感器的定位系统,包括固定架体,在固定架体的任意两个平面上分别安装有测量入射光最大偏振方向的偏振光角度传感器,在固定架体的一基准面上安装有水平传感器和方向传感器,该系统还包括上位计算机,所述上位计算机内设置有天文历查询模块和地磁信息查询模块。该系统结合偏振光导航技术和天文知识通过固定架体上的方向传感器、偏振光角度传感器和水平传感器的测量值,通过上位计算机内的地磁信息查询模块查询地磁偏角数据信息,通过天文历查询模块查询某时刻的太阳赤纬δ数值和某日期的真太阳时时差,根据上述数据信息采用本发明公开的算法通过计算得到载体的经纬度。
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公开(公告)号:CN102135728B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN201110043750.3
申请日:2011-02-23
Applicant: 大连理工大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明属于微纳制造技术领域,具体为基于一维软模板纳米压印技术制作大面积三维纳米网格结构的方法。其步骤包括:利用软模板进行第一次纳米压印,然后采用氧RIE刻蚀去除压印胶残留层。利用制作的压印胶图形为掩膜刻蚀基底材料,去胶后得到一维纳米光栅结构。利用与前一次压印和刻蚀工艺相同的参数,进行第二次压印和刻蚀工艺。在第二次压印中,调整模板方向与第一次压印时模板方向呈0°-90°夹角。最终得到具有亚25nm纳米点的三维纳米网格结构。本发明使用的软模板可以有效避免硬模板与硬性基底接触造成的永久性损伤,同时避免了三维模板的使用。制作的纳米结构的尺寸和形状可控。本发明的方法成本低,效率高、可控性好和分辨率高。
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公开(公告)号:CN103822629A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201410088363.5
申请日:2014-03-11
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多方向偏振光导航传感器的定位系统,包括固定架体,在固定架体的任意两个平面上分别安装有测量入射光最大偏振方向的偏振光角度传感器,在固定架体的一基准面上安装有水平传感器和方向传感器,该系统还包括上位计算机,所述上位计算机内设置有天文历查询模块和地磁信息查询模块。该系统结合偏振光导航技术和天文知识通过固定架体上的方向传感器、偏振光角度传感器和水平传感器的测量值,通过上位计算机内的地磁信息查询模块查询地磁偏角数据信息,通过天文历查询模块查询某时刻的太阳赤纬δ数值和某日期的真太阳时时差,根据上述数据信息采用本发明公开的算法通过计算得到载体的经纬度。
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公开(公告)号:CN101852614B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201010203062.4
申请日:2010-06-10
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明导航传感器的微型偏振光检测装置属于传感器设计领域,特别涉及了一种仿照昆虫复眼结构设计的导航传感器的微型偏振光检测装置。检测装置有三个通道,每个通道由两个单元组,共六个单元。每个单元都具有一个微型光栅和一个光电薄膜来模拟昆虫复眼的一种神经感杆。装置的底层为绝缘体上硅晶片有三层:基地硅、二氧化硅埋层和N型掺杂硅基底,六个单元建立在N型掺杂硅基底上。本发明具有结构简单,体积小,精度高等特点。通过这种方法得到的导航角度信息可靠性高,对环境的鲁棒性高,精度高,实时性高,可以用于要求较高的导航系统中。
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