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公开(公告)号：CN115840058A
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202211514471.5
申请日：2022-11-29
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明提供了一种压电纤毛微流速传感器，属于传感技术领域。该传感器包括基底、压电纤毛、电极和电路电极；压电纤毛通过打印的方式打印到基底表面上，电极通过溅射或聚焦离子束的方式附着在压电纤毛两侧表面。当传感器在一定流速下发生形变，两个电极间产生电势，当流速不同时形变不同，产生电势不同，根据不同电势可以测试不同流速。本发明通过打印高宽比压电纤毛结构，增大了压电纤毛变形，提高了传感器的灵敏度；采用MEMS工艺技术，降低了器件的成本，减小器件功耗，具有结构简单、制作方便和灵敏度高的优点。
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公开(公告)号：CN115754342A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211513211.6
申请日：2022-11-29
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种微型悬臂梁压电流速传感器，属于传感技术领域。该传感器包括基底、金属芯、压电陶瓷、电极和电路电极；压电陶瓷通过电雾化的方式沉积到金属芯表面上，表面电极通过溅射的方式附着在压电陶瓷两侧表面。当传感器在一定流速下发生形变，两个电极间产生电势，当流速不同时形变不同，产生电势不同，根据不同电势可以测试不同流速。本发明设置高宽比金属芯，增大了压电陶瓷变形，提高了灵敏度；采用MEMS工艺技术，降低了器件的成本，减小器件功耗，具有结构简单、制作方便和灵敏度高的优点。
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公开(公告)号：CN119251633A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411348372.3
申请日：2024-09-26
Applicant: 大连理工大学 , 珠海市四维时代网络科技有限公司
IPC: G06V10/80 , G06V10/75 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/08
Abstract: 本发明属于计算机视觉、自动驾驶、立体视觉及算法设计技术领域，公开一种面向双目立体视觉的跨模态对比学习方法。输入来自相机左视图和右视图的RGB特征与事件特征，经过跨视角对比模块、跨模态对比模块和跨时域对比模块这三个模块来采样正负样例，并构建对比学习损失函数，训练双目跨模态特征的融合。本发明主要解决如何通过结合事件相机来提升输出的深度图的质量，与近年来主要通过设计网络融合模块的模态融合方法相比，本发明侧重于利用双目视图和不同模态之间的关系来训练现有的特征融合模块，能够同时考虑不同视角、不同模态、不同时域下的双目RGB与事件相机融合，在获得更精确的匹配的同时，不额外增加预测阶段的计算负担。
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公开(公告)号：CN115316918B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202211084837.X
申请日：2022-09-06
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开一种全方位观察欠驱动胶囊机器人及其轴线翻转磁控操作方法，将径向磁化钕铁硼磁环以非连接方式装入胶囊球体内腔，钕铁硼磁环单独跟随旋转磁场绕胶囊轴线空转并完全悬浮于胶囊球体充满硅油的内腔，在同轴随动磁矩驱动下，欠驱动胶囊球体不能绕胶囊轴线自转，但胶囊轴线能跟随磁场旋转轴同步翻转。通过万向磁场控制胶囊轴线与垂直方向成一定夹角的锥面范围内依次扫描或者在与肠道弯曲方向平行的竖直平面内作连续圆形翻转，便可分别实现胶囊机器人在体腔内的万向观察诊断和在包括胃肠道内部约束环境下沿弯曲方向的转弯行走。本发明提高了胶囊扫描范围，增强环境适应性，胶囊定点调姿精度高，翻滚行走稳定，视觉观察效果好，应用前景良好。
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公开(公告)号：CN111725385B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202010547450.8
申请日：2020-06-16
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L41/314 , H01L41/318 , C23C18/12 , B81B7/04 , B81C1/00
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，提供了基于溶胶‑凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法。本发明制备的复合型PZT压电膜膜厚可达几至上百微米，且与传统单一电射流沉积法制备的PZT压电膜相比，复合型PZT压电膜微孔隙缺陷减少，晶体择优取向度提高，与上下电极结合条件良好，压电性和铁电性等性能有明显提升。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111086971A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911364222.0
申请日：2019-12-25
Applicant: 大连理工大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明属于半导体/MEMS制造工艺技术领域，提供了一种用于柔性MEMS器件的转印工艺方法，尤其可利用于将在硅等刚性基底上制作完成的结构或器件，转印到如聚酰亚胺、PET、PDMS等柔性衬底上。在基于PZT的柔性压电能量收集器的案例中，针对该工艺成功率较低导致影响整体工艺的成功率，本发明创新性地提出了以PECVD沉积制作的SiNX作为转印前释放的牺牲层，相对传统工艺中以SiO2为释放工艺的牺牲层，本改进明显缩短了释放时间，使结构不至于在HF酸缓冲液中浸泡太久而导致失效，大大提高了转印工艺的成功率。同时，提出了在转印期间的加压加温的工艺改进，进一步提高了转印成功率。
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公开(公告)号：CN108230870A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810228990.2
申请日：2018-03-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: G09B25/02
Abstract: 本发明属于机械原理机构学技术领域，提供了一种凸轮实验教学装置，它可以实现系统高副的快速匹配，使从动件的偏置距可以实时调整，不同规律凸轮可以方便更换。双导轨设计提供了良好的支撑刚度，表面处理增强了导轨的耐磨性，确保偏置调整单元长期运行的稳定性。从动件特殊的变换结构，使得对它的操作更有效率。该结构除了大大提高变换速度外，还很好的保证了变换的位置误差控制。凸轮除了满足整体更换外，还可以实现对凸轮部分参数调整变换的需求。该装置可以根据实验需求柔性的快速匹配高副系统的参数，配合百分表以及位移传感器，该实验装置可以实现，手动、自动检测模式，实现多种实验任务。
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公开(公告)号：CN103822629A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201410088363.5
申请日：2014-03-11
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多方向偏振光导航传感器的定位系统，包括固定架体，在固定架体的任意两个平面上分别安装有测量入射光最大偏振方向的偏振光角度传感器，在固定架体的一基准面上安装有水平传感器和方向传感器，该系统还包括上位计算机，所述上位计算机内设置有天文历查询模块和地磁信息查询模块。该系统结合偏振光导航技术和天文知识通过固定架体上的方向传感器、偏振光角度传感器和水平传感器的测量值，通过上位计算机内的地磁信息查询模块查询地磁偏角数据信息，通过天文历查询模块查询某时刻的太阳赤纬δ数值和某日期的真太阳时时差，根据上述数据信息采用本发明公开的算法通过计算得到载体的经纬度。
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公开(公告)号：CN102519646A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110422133.4
申请日：2011-12-15
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明非线性压电微能源采集器的微力加载测试方法属于测试技术领域，特别涉及非线性压电微能源采集器的微力加载和测试。非接触微力加载测试方法分三种方式，分别为当换向连接件、压电陶瓷叠堆致动器、压电微能源采集器竖直Z向布置时，压电微能源采集器的Z向微排斥力加载测试；当换向连接件、压电陶瓷叠堆致动器、压电微能源采集器水平X向布置时，压电微能源采集器的Z向微排斥力加载测试；压电微能梁采集器的等效刚度测试。该测试方法解决了非线性压电微能源采集器的毫牛顿级微力加载测试问题，加载的微力在微牛顿级，精度高、微力加载稳定性能好，操作简便，容易精确控制微力加载的幅度，不易损坏样片。
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公开(公告)号：CN100587854C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200810011267.5
申请日：2008-04-30
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明一种硅探针的制作方法属于测试技术领域，涉及到原子力显微镜探针的制作。采用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法制作探针，首先采用光刻法形成硅尖掩模，然后干法刻蚀梁至一定的深度，接着采用湿法同步腐蚀硅尖和梁，硅尖削尖后，从背面干法刻蚀释放梁，最后采用溅射或蒸发的方法在探针背面镀金属层增强光的反射率；湿法腐蚀中采用氢氧化钾溶液各向异性腐蚀硅尖，不同浓度的氢氧化钾溶液，得到不同纵横比的硅尖。采用单晶硅，成本较低，工艺简单；用该方法制作出的探针可以用于原子力显微镜。
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