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公开(公告)号:CN108396303A
公开(公告)日:2018-08-14
申请号:CN201810527953.1
申请日:2018-05-29
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/52
CPC分类号: C23C14/52
摘要: 视角可调式柔性观察窗,波纹管尾端固定于底座法兰上,波纹管前端连接观察窗口,支撑座尾端固定安装于底座法兰上,支撑座前部通过轴连接可调支撑板,可调支撑板前部设有长条孔,可调支撑板前部通过旋转轴安装于观察窗口上,旋转轴与可调支撑板的长条孔配合安装。本发明的视角可调式柔性观察窗,可实现在设备运行的情况下,根据观察视角需要来调整观察窗的视角。此观察窗与传统观察窗体积一致,但是可观察角度更广。
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公开(公告)号:CN108468024A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201810528015.3
申请日:2018-05-29
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/32
CPC分类号: C23C14/325
摘要: 防松脱式引弧装置,引弧气缸的气缸杆下部安装引弧针定位套,引弧针定位套与引弧针焊接为一体,气缸杆下端螺纹连接压帽;气缸杆上设有屏蔽套,屏蔽套下部与引弧针定位套之间设有调整垫片,引弧气缸下部及气缸杆上部外侧设有绝缘垫。本发明的防松脱式引弧装置,引弧针与靶材相对距离可调且不易因为靶材表面温度剧烈变化造成引弧针松脱,从而保证了引弧系统的稳定性。
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公开(公告)号:CN108396302A
公开(公告)日:2018-08-14
申请号:CN201810528422.4
申请日:2018-05-29
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/50
CPC分类号: C23C14/505
摘要: 基片承载轴连续摆动式转架,公转盘安装轴连接驱动电机,公转盘上对称安装传动盘转动座,公转盘上位于每个传动盘转动座外侧设有自转轴转动座,传动盘转动座上部安装传动盘,传动盘转动座下部安装小齿轮,传动盘边缘处上设有传动盘驱动销;自转轴转动座上部安装基片承载盘,基片承载盘尾端处设有基片承载盘驱动销,摆动杆两侧的长条形孔与传动盘驱动销和基片承载盘驱动销配合安装,摆动杆通过摆动杆座轴活动安装于公转盘上;下板座上部与公转盘之间安装压力球轴承,下板座上位于公转盘安装轴外侧固定安装大齿轮。本发明转架的公转盘转动时自转轴会持续的两个方向摆动,在不降低轴瓦成膜速率的情况下进一步提高了轴瓦内表面的膜层均匀度。
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公开(公告)号:CN208218948U
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201820809319.2
申请日:2018-05-29
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/32
摘要: 防松脱式引弧装置,引弧气缸的气缸杆下部安装引弧针定位套,引弧针定位套与引弧针焊接为一体,气缸杆下端螺纹连接压帽;气缸杆上设有屏蔽套,屏蔽套下部与引弧针定位套之间设有调整垫片,引弧气缸下部及气缸杆上部外侧设有绝缘垫。本实用新型的防松脱式引弧装置,引弧针与靶材相对距离可调且不易因为靶材表面温度剧烈变化造成引弧针松脱,从而保证了引弧系统的稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208218953U
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201820809290.8
申请日:2018-05-29
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/50
摘要: 基片承载轴连续摆动式转架,公转盘安装轴连接驱动电机,公转盘上对称安装传动盘转动座,公转盘上位于每个传动盘转动座外侧设有自转轴转动座,传动盘转动座上部安装传动盘,传动盘转动座下部安装小齿轮,传动盘边缘处上设有传动盘驱动销;自转轴转动座上部安装基片承载盘,基片承载盘尾端处设有基片承载盘驱动销,摆动杆两侧的长条形孔与传动盘驱动销和基片承载盘驱动销配合安装,摆动杆通过摆动杆座轴活动安装于公转盘上;下板座上部与公转盘之间安装压力球轴承,下板座上位于公转盘安装轴外侧固定安装大齿轮。本实用新型转架的公转盘转动时自转轴会持续的两个方向摆动,在不降低轴瓦成膜速率的情况下进一步提高了轴瓦内表面的膜层均匀度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN205765514U
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201620751947.0
申请日:2016-07-18
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
摘要: 本实用新型公开了一种应用于刀具镀膜前处理的圆环形连续工作系统,包括刀具夹盘和中心驱动轴,所述刀具夹盘的上方安装有刀具夹盘旋转电机,所述刀具夹盘的下方设置有料盒,所述料盒的下方固定安装有料盒升降气缸,所述刀具夹盘的左端设置有刀具夹盘升降电机,所述刀具夹盘升降电机的左侧安装有中心驱动轴,所述中心驱动轴的下方设置有主轴旋转电机。该应用于刀具镀膜前处理的圆环形连续工作系统,具备至少两个可升降并可拖出更换的料盒,具备至少三个可整体旋转的刀具夹盘且刀具夹盘可独立旋转并可单独升降,可以普遍推广使用。
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公开(公告)号:CN207227543U
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201720920317.6
申请日:2017-07-27
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/50
摘要: 真空镀膜设备自转轴转架,公转盘上方设有大齿轮,公转盘和大齿轮为同轴结构,大齿轮连接驱动电机,公转盘圆周上均匀分布安装自转轴转动座,自转轴安装于自转轴转动座上,自转轴上安装与大齿轮啮合的小齿轮,自转轴上端安装基片承载盘;公转盘下部安装带齿压力球轴承,磁粉阻尼器连接侧面齿轮,侧面齿轮和带齿压力球轴承的齿轮啮合;公转盘上设有公转盘驱动销,大齿轮上设有与公转盘驱动销对应的异形孔。本实用新型可在设备不停机的情况下通过改变公转盘的顺、逆时针的转动实现自转轴的180°旋转的功能,公转盘切换顺、逆时针后持续转动,以此可实现矩形薄片两个面的高质量、快速成膜需求。
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公开(公告)号:CN207193385U
公开(公告)日:2018-04-06
申请号:CN201720926155.7
申请日:2017-07-28
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/50
摘要: 基片承载轴摆动角可调式转架,旋转轴上端连接拔叉盘中心,旋转轴下端连接驱动电机,拔叉盘圆周上设有拔叉,位于拔叉盘下方的环形公转盘和环形基架套装于旋转轴外侧,公转盘直径大于拔叉盘直径,公转盘上位于边缘处的圆周上通过轴承安装有数量与拔叉数量相同的基片承载轴,基片承载轴的连杆连接拔叉,公转盘通过轴承与基架连接,公转盘上安装公转盘驱动销,拔叉盘上设有角度限位孔,公转盘驱动销位于角度限位孔内。本实用新型的基片承载轴摆动角可调式转架,可在设备运行下双向摆动,此结构可实现在设备不停机的情况下完成基片承载轴自身旋转到预调角度功能,以此可实现外形不规则的基片表面膜层的均匀沉积。
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公开(公告)号:CN208218959U
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201820809272.X
申请日:2018-05-29
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C23C14/52
摘要: 视角可调式柔性观察窗,波纹管尾端固定于底座法兰上,波纹管前端连接观察窗口,支撑座尾端固定安装于底座法兰上,支撑座前部通过轴连接可调支撑板,可调支撑板前部设有长条孔,可调支撑板前部通过旋转轴安装于观察窗口上,旋转轴与可调支撑板的长条孔配合安装。本实用新型的视角可调式柔性观察窗,可实现在设备运行的情况下,根据观察视角需要来调整观察窗的视角。此观察窗与传统观察窗体积一致,但是可观察角度更广。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN204939551U
公开(公告)日:2016-01-06
申请号:CN201520710595.X
申请日:2015-09-15
申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号: C21D9/24
摘要: 本实用新型提供了一种新型带锯条连续热处理加热系统,包括电机、热处理炉体、搅风叶片、引流腔、加热体,所述电机的底部设置有电机架,所述电机架安装于热处理炉体顶部,所述电机连接搅风叶片,所述搅风叶片设于引流腔上部,所述引流腔内安装加热体,所述热处理炉体内并列设置有马弗管托架,所述马弗管托架上设置有马弗管,本实用新型在热处理炉腔体过大或马弗管数量较多的情况下,能够使热处理炉内所有马弗管受热均匀。
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