腐蚀液及腐蚀方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1682355A

    公开(公告)日:2005-10-12

    申请号:CN03821750.3

    申请日:2003-08-04

    CPC classification number: H01L21/31111

    Abstract: 本发明提供腐蚀液,该腐蚀液适合应用在将表面上形成了介电常数为大于等于8的膜(High-k膜)和硅氧化膜的材料进行腐蚀处理,High-k膜的腐蚀速度为大于等于2/分,热氧化膜(THOX)和High-k膜的腐蚀速度的比为小于等于50。前述腐蚀液优选使用氟化氢(HF)和各种醚系有机溶剂混合后的物质。

    触摸面板、触摸输入装置和电子设备

    公开(公告)号:CN105612481B

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201480055556.9

    申请日:2014-10-08

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种不易受到温度变化引起的热电噪声影响触摸面板。作为解决该课题的申请,本发明提供触摸面板2。触摸面板2具备第一热电体26和第二热电体27,能够检测对第一热电体26和/或第二热电体27的按压力。第一热电体26的上表面和第二热电体27的下表面是在温度上升时产生正电荷、在温度下降时产生负电荷的面,第一热电体26的下表面和第二热电体27的上表面是在温度上升时产生负电荷、在温度下降时产生正电荷的面。在第一热电体26的一个面配置的电极与在第二热电体27的一个面配置的电极电连接,在第一热电体26的另一个面配置的电极与在第二热电体27的另一个面配置的电极电连接。

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