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公开(公告)号：CN109579747B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201811173059.5
申请日：2018-10-09
申请人： 天津大学
摘要： 本发明涉及一种基于二维光学点阵的漫反射型表面形貌测量方法，包括：搭建生成二维光学点阵的光路系统，由此光路系统生成的二维光学点阵被整体放大后照射到被测物体表面，经由充当“小孔成像”的“小孔”的漫反射成像透镜后由相机完成图像采集，保存的图像用于后续的表面形貌解算；将标准平面样品放置在被测物体位置上，二维光学点阵会投射到其表面并进行漫反射成像，利用相机采集成像结果；采集完标准平面的点阵图像后，将被测物体放在同样位置，利用相同方法对被测物体表面进行测量；经过图像处理提取出二维光学点阵中各个点元素的位置偏移量；求解出被测形貌。
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公开(公告)号：CN109579747A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811173059.5
申请日：2018-10-09
申请人： 天津大学
摘要： 本发明涉及一种基于二维光学点阵的漫反射型表面形貌测量方法，包括：搭建生成二维光学点阵的光路系统，由此光路系统生成的二维光学点阵被整体放大后照射到被测物体表面，经由充当“小孔成像”的“小孔”的漫反射成像透镜后由相机完成图像采集，保存的图像用于后续的表面形貌解算；将标准平面样品放置在被测物体位置上，二维光学点阵会投射到其表面并进行漫反射成像，利用相机采集成像结果；采集完标准平面的点阵图像后，将被测物体放在同样位置，利用相同方法对被测物体表面进行测量；经过图像处理提取出二维光学点阵中各个点元素的位置偏移量；求解出被测形貌。
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公开(公告)号：CN108303038A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201711401454.X
申请日：2017-12-21
申请人： 天津大学
摘要： 一种基于二维光学点阵的反射型面形测量方法和装置，该方法利用经空间光调制器调制以及两次透镜傅里叶变换的出射光分别在反射型被测面和参考平面上形成光学点阵，被测面上的光学点阵受被测面面形调制后相对于参考平面发生偏移，根据该偏移量结合基于Zernike多项式的模式重构算法重构出被测面的面形。并进一步提供了实现该方法的测量装置以及该方法在测量物体变形的应用。本公开简化了测量过程，实现了快速测量。
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公开(公告)号：CN108303038B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201711401454.X
申请日：2017-12-21
申请人： 天津大学
摘要： 一种基于二维光学点阵的反射型面形测量方法和装置，该方法利用经空间光调制器调制以及两次透镜傅里叶变换的出射光分别在反射型被测面和参考平面上形成光学点阵，被测面上的光学点阵受被测面面形调制后相对于参考平面发生偏移，根据该偏移量结合基于Zernike多项式的模式重构算法重构出被测面的面形。并进一步提供了实现该方法的测量装置以及该方法在测量物体变形的应用。本公开简化了测量过程，实现了快速测量。
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