公开(公告)号：CN116511691A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202310337050.8

申请日：2023-03-31

申请人： 天津大学 ,  清华大学 ,  哈尔滨工业大学

发明人： 杨雪 ,  佟浩 ,  杨成娟 ,  姚尧 ,  杨立军 ,  杨振 ,  戚慧敏

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23H5/00 ,  B23H9/14

摘要： 一种电解液环绕激光式管电极耦合激光电解复合加工深孔装置，在装置主体的中心轴向形成有上下贯通的用于分别传输激光、电解液和电源的复合传送通道，复合传送通道内设置有用于接收连接在装置主体顶端的激光光源的激光传输机构，装置主体中部等间隔的设置有四组用于从装置主体的外侧沿径向将电解液送入到复合传送通道内的电解液导入机构，装置主体的下部设置有伸出底端的用于接收激光、电解液和电源从而对被加工件进行超大深径比小孔加工的管状工具电极，装置主体的中部还设置有从装置主体的外侧径向贯穿至复合传送通道内的导电机构，导电机构通过贯穿传送通孔导线连接管状工具电极。本发明能够实现超大深径比小孔的多层级、高质量和高效加工。

公开(公告)号：CN118026087A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410224259.8

申请日：2024-02-29

申请人： 天津大学

发明人： 王金石 ,  房丰洲 ,  安豪杰 ,  吴珊 ,  戚慧敏

IPC分类号： B81C1/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明属于微纳制造领域，涉及一种微纳结构加工方法，包括如下步骤：S1离子束辐照待加工区域，使待加工区域材料发生非晶化得到非晶层；S2激光辐照修复由S1离子束辐照产生的非晶层以外的亚表面晶格损伤；S3湿法刻蚀去掉S1得到的非晶层，获得具有纳米至亚纳米量级表面粗糙度的微纳结构。通过三个方法步骤协同配合，实现了难加工材料微纳结构的高精度、高表面完整性、批量化制造。