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公开(公告)号：CN116511691A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310337050.8
申请日：2023-03-31
摘要： 一种电解液环绕激光式管电极耦合激光电解复合加工深孔装置，在装置主体的中心轴向形成有上下贯通的用于分别传输激光、电解液和电源的复合传送通道，复合传送通道内设置有用于接收连接在装置主体顶端的激光光源的激光传输机构，装置主体中部等间隔的设置有四组用于从装置主体的外侧沿径向将电解液送入到复合传送通道内的电解液导入机构，装置主体的下部设置有伸出底端的用于接收激光、电解液和电源从而对被加工件进行超大深径比小孔加工的管状工具电极，装置主体的中部还设置有从装置主体的外侧径向贯穿至复合传送通道内的导电机构，导电机构通过贯穿传送通孔导线连接管状工具电极。本发明能够实现超大深径比小孔的多层级、高质量和高效加工。
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公开(公告)号：CN118616828A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410727927.9
申请日：2024-06-06
摘要： 本发明公开了一种具有多边金属阴极和双流道的激光电解复合加工工具，包括：耦合腔体和加工组件，耦合腔体包括相互连通的固定腔和导流腔，至少部分加工组件固定至固定腔，加工组件包括沿其径向依次套设配合的光纤、金属阴极和约束外管，光纤用于耦合脉冲激光，金属阴极具有至少三条沿其周向首尾相连的金属侧壁，金属阴极通过耦合腔体与供电件电连接，至少部分金属阴极分别与光纤、约束外管间隔设置，金属阴极和光纤之间形成第一流道，金属阴极和约束外管之间形成第二流道，第一流道和第二流道连通导流腔。本发明实施例的具有多边金属阴极和双流道的激光电解复合加工工具，可实现脉冲激光、电解液流场与加工电场的传输，提高加工工具的加工效率。
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公开(公告)号：CN110208229A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910410657.8
申请日：2019-05-17
申请人： 清华大学天津高端装备研究院 , 清华大学
摘要： 本公开一种微流控生物芯片扫描信号检测装置，包括：原始扫描信号的获取与滤波模块获取微流控生物芯片待测区及流道上的被诱导荧光信号的扫描信号；扫描信号的小波变换模块获取T、C区扫描信号长度；扫描信号的等时间长度确定模块获取T区和C区的有效信号长度；信号提取模块提取T区和C区有效扫描信号；信号均匀化重建模块对T、C区有效扫描信号的均匀化重建；被检物的浓度计算模块，依据T、C区重建后的扫描信号的面积，获取被检物的浓度。上述装置应用于微流控生物芯片扫描式检测过程中，能够解决对被诱导荧光在T区与C区内被提取信号长度不一致、区域内被测信号分布不均匀等的问题。
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公开(公告)号：CN110208229B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201910410657.8
申请日：2019-05-17
申请人： 清华大学天津高端装备研究院 , 清华大学
摘要： 本公开一种微流控生物芯片扫描信号检测装置，包括：原始扫描信号的获取与滤波模块获取微流控生物芯片待测区及流道上的被诱导荧光信号的扫描信号；扫描信号的小波变换模块获取T、C区扫描信号长度；扫描信号的等时间长度确定模块获取T区和C区的有效信号长度；信号提取模块提取T区和C区有效扫描信号；信号均匀化重建模块对T、C区有效扫描信号的均匀化重建；被检物的浓度计算模块，依据T、C区重建后的扫描信号的面积，获取被检物的浓度。上述装置应用于微流控生物芯片扫描式检测过程中，能够解决对被诱导荧光在T区与C区内被提取信号长度不一致、区域内被测信号分布不均匀等的问题。
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公开(公告)号：CN109228053A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810985384.5
申请日：2018-08-28
申请人： 清华大学天津高端装备研究院 , 清华大学
IPC分类号： B29C33/38
摘要： 本发明公开了一种微流控芯片注塑模具模芯的复合加工方法，该微流控芯片注塑模具模芯由精密铣削磨削加工宏观尺寸结构和微细电解加工微观结构两个步骤组成：(1)对于结构尺度尺寸在1-100mm的宏观结构，采用精密铣刀进行铣削加工，再通过磨削进行初步的精密加工；(2)对于结构尺度尺寸在50-1000μm的微观结构，其为具有微凸起结构、微凹槽结构以及微三维结构等具有不同特征的微观结构。采用具有侧壁绝缘层的旋转微细电极，配以酸性电解液，通以高频超短脉冲电源，对微观结构进行逐层铣削的电解加工，以同步实现三维微观结构加工和表面抛光。本发明可以实现具有复杂三维微观结构的微流控芯片模芯的制造，为小批量、多品种的微流控芯片的快速原型制造提供了实现方案。
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公开(公告)号：CN109453827A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811557223.2
申请日：2018-12-19
申请人： 清华大学天津高端装备研究院 , 清华大学
IPC分类号： B01L3/00 , G01N33/533 , G01N21/64
摘要： 本发明提供了一种基于亲液和/或疏液的微阵列实现流量控制的微流控芯片，涉及即时检测产品技术领域。该微流控芯片使用流量控制器控制微流道内液体的流速，流量控制器包括由若干阵列单元排布而成的微阵列；阵列单元为设置于微流道表面的具有形状的疏液层或亲液层；其中，若流量控制器为减速流量控制器则包括由若干疏液阵列单元排布而成的微阵列，疏液阵列单元的接触角大于微流道；若流量控制器为加速流量控制器则包括由若干亲液阵列单元排布而成的微阵列，亲液阵列单元的接触角小于微流道。该微流控芯片采用阵列单元排列而成的微阵列来控制微流道内液体的流动速度，具有成本低廉、制备简单、无需外部驱动等优势。
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公开(公告)号：CN114131125B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202111443964.X
申请日：2021-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 本申请涉及特种加工技术领域，特别涉及一种具有表面疏水结构的工具电极及其制备方法，其中，工具电极由电极基体和设置于电极基体侧壁面上的阵列球坑微结构组成，阵列球坑微结构具有呈六边形排布的多个球坑。利用阵列球坑结构作为表面疏水结构，在电极的表面形成作为侧壁绝缘层的驻留气膜，可在电解加工或放电辅助化学加工中起到侧壁绝缘和稳定加工过程的作用。本申请的实施例可以解决由于微细圆柱状电极表面曲率变化引起的阵列微结构连续性差、分布不均难题，提高具有表面疏水结构的工具电极的使用性能。
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公开(公告)号：CN115138933A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210759025.4
申请日：2022-06-29
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了一种电化学放电加工用柔性力反馈控制主轴头，包括主轴背板；加工模块设于主轴背板的一侧且具有夹持有工具电极的夹头；力反馈模块设于加工模块的上方且具有复合柔性件和压力传感器，复合柔性件设于加工模块上方且与加工模块连接，压力传感器设于复合柔性件上方且连接于控制器，压力传感器用于检测工具电极与工件之间的接触力；平衡模块设于力反馈模块上方且与压力传感器配合，平衡模块具有导轮和摇臂，平衡模块具有线缆，线缆的第一端与加工模块连接，线缆可绕设导轮，线缆的第二端固定在摇臂或与重物连接。由此可以保持微细电化学放电扫描加工中工具电极进给中微小接触力，提高加工工艺过程稳定性。
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公开(公告)号：CN111170269B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202010002659.6
申请日：2020-01-02
申请人： 清华大学
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明公开了一种网骨架吹击PDMS制备阵列微圆孔柔性膜系统及方法，其中，该系统主要由吹击控制系统、网骨架夹具系统、在线观测系统、运动控制系统组成。吹击控制系统用于调节吹击网骨架的吹击气体速度；网骨架夹具系统用于保证在网骨架吹击过程中网骨架位置稳定；在线观测系统用于拍摄网骨架吹击过程中的实时图像，并根据实时图像判断是否存在封闭孔；运动控制系统用于实现吹击过程中的扫描轨迹和定位封闭孔所在区域位置，根据所在区域位置对封闭孔再次吹击，直至不存在封闭孔。该系统低成本、高效率，能够大批量制备阵列圆孔柔性膜。
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公开(公告)号：CN114131125A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111443964.X
申请日：2021-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 本申请涉及特种加工技术领域，特别涉及一种具有表面疏水结构的工具电极及其制备方法，其中，工具电极由电极基体和设置于电极基体侧壁面上的阵列球坑微结构组成，阵列球坑微结构具有呈六边形排布的多个球坑。利用阵列球坑结构作为表面疏水结构，在电极的表面形成作为侧壁绝缘层的驻留气膜，可在电解加工或放电辅助化学加工中起到侧壁绝缘和稳定加工过程的作用。本申请的实施例可以解决由于微细圆柱状电极表面曲率变化引起的阵列微结构连续性差、分布不均难题，提高具有表面疏水结构的工具电极的使用性能。
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