一种微纳加工系统及控制方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111377397A

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN202010209837.2

    申请日:2020-03-23

    IPC分类号: B81C99/00 B82Y40/00

    摘要: 本发明属于压电促动器技术领域,具体涉及一种微纳加工系统及控制方法。该微纳加工系统,包括装配基臂、定位平台、第一传动连接臂和第二传动连接臂,所述装配基座一侧设有固定基臂,装配基臂上通过第二柔性铰链连接有第一传动连接臂,所述第一传动连接臂上通过第一柔性铰链设有第二传动连接臂,所述固定基臂与第一传动连接臂之间设有第一压电陶瓷驱动器,第二传动连接臂与装配基臂之间设有第二压电陶瓷驱动器,所述第二传动连接臂端部对应定位平台设有刀尖。其有益效果是:结构简单紧凑,运动形成大,固有频率高,用于二维振动辅助切削,可延长刀具的使用寿命、减小切削力,而且提高了工件加工表面质量。