-
公开(公告)号:CN108368637A
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201680061755.X
申请日:2016-08-18
申请人: 太阳能爱迪生半导体有限公司 , 达维克国际有限公司
CPC分类号: C30B15/02 , B64G1/10 , B64G1/58 , B64G1/648 , B64G2001/1092 , B66D1/12 , C30B15/20 , C30B15/32 , C30B29/06 , C30B30/04 , C30B35/005 , G01P15/18 , G01S11/02 , G01S19/13
摘要: 本发明涉及一种进给组件,其为用于由熔体生长晶锭的生长室供给多晶硅。一种示例性系统包括壳体,该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道,和位于支承轨道上方以选择性地进给颗粒托盘和块体托盘中的一者的进料储器。还公开了一种阀机构和脉冲振动器。
-
公开(公告)号:CN116145234A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202310150911.1
申请日:2016-08-18
申请人: 环球晶圆股份有限公司 , 达维克国际有限公司
摘要: 本发明涉及一种进给组件,其为用于由熔体生长晶锭的生长室供给多晶硅。一种示例性系统包括壳体,该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道,和位于支承轨道上方以选择性地进给颗粒托盘和块体托盘中的一者的进料储器。还公开了一种阀机构和脉冲振动器。
-
公开(公告)号:CN108368637B
公开(公告)日:2023-03-03
申请号:CN201680061755.X
申请日:2016-08-18
申请人: 环球晶圆股份有限公司 , 达维克国际有限公司
摘要: 本发明涉及一种进给组件,其为用于由熔体生长晶锭的生长室供给多晶硅。一种示例性系统包括壳体,该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道,和位于支承轨道上方以选择性地进给颗粒托盘和块体托盘中的一者的进料储器。还公开了一种阀机构和脉冲振动器。
-
-