一种旋涂DBR结构制备方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117712244A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202410044875.5

    申请日:2024-01-12

    IPC分类号: H01L33/00 H01L33/10 H01L33/46

    摘要: 本发明属于发光二极管外延技术领域,具体涉及一种旋涂DBR结构制备方法,包括:S1、选取蓝宝石或硅片作为基底;S2、将液体旋涂材料QHN和液体旋涂材料QLN交替旋涂堆叠在所述基底上;所述液体旋涂材料QHN和所述液体旋涂材料QLN交替堆叠11‑17层,并且最上层为液体旋涂材料QHN;所述液体旋涂材料QLN为氧化硅材料,折射率小于1.2;所述液体旋涂材料QHN为氧化钛材料,折射率大于2.1。本发明的旋涂DBR结构制备方法,操作方便,只需要旋涂机即可完成,并且获得的DBR结构具有极高的反射率。

    一种低折射率二氧化硅薄膜制备方法

    公开(公告)号:CN117304719A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311259847.7

    申请日:2023-09-27

    摘要: 本发明属于半导体材料技术领域,具体涉及一种低折射率二氧化硅薄膜制备方法,包括:制备低折射率二氧化硅涂料溶液;使用滤芯将所述溶液加压过滤,利用旋涂法将溶液以3000rpm/min均匀地涂布到硅片上;将硅片放置到烤盘上在80℃加热2分钟,在150℃加热2分钟,在300℃加热10分钟,形成多孔隙二氧化硅薄膜;所述低折射率二氧化硅涂料溶液包括以下重量份组分:16‑20份硅氧烷化合物,8‑12份烷基季铵盐、1‑2份催化剂、1‑2份固体含量1.75%的表面活性剂、100‑120份溶剂、10‑15份去离子水。本发明可以制得折射率在1.2以下的二氧化硅薄膜,并且制备装置简单,便于经济、高效地完成大面积涂膜及复杂形态构件涂膜。

    一种SOC膜层制备方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN117476445B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311437991.5

    申请日:2023-10-31

    IPC分类号: H01L21/033 B05D1/00 B05D3/02

    摘要: 本发明涉及SOC膜层制备方法,包括:S1、将浓盐酸和去离子水配置成稀酸盐;S2、将苯胺与稀盐酸混合,在室温和氮气环境下搅拌10‑60mi n,加入18%的甲醛溶液,在氮气环境下反应3h获得MDA溶液;S3、滴加氢氧化钾溶液使MDA析出沉淀获得MDA混合物粉末;S4、将MDA混合物粉末与马来酸酐混合,加入二甲基酰胺、对甲苯磺酸和聚烯化抑制剂,在氮气环境下搅拌5mi n,加入甲苯搅拌均匀;S5、将温度升至110℃‑130℃,反应12h,用分水管将蒸出的水分排出;S6、反应完毕后倒入去离子水中沉淀,待上层有机层清澈后过滤出下层水层中沉淀固体;S7、将过滤出的沉淀固体与环己酮配置成旋涂溶液;S8、在旋涂机上旋涂烘烤固化形成SOC膜层。本发明的SOC膜层制备方法步骤简单,操作安全。

    一种SOC膜层制备方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117476445A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311437991.5

    申请日:2023-10-31

    IPC分类号: H01L21/033 B05D1/00 B05D3/02

    摘要: 本发明涉及SOC膜层制备方法,包括:S1、将浓盐酸和去离子水配置成稀酸盐;S2、将苯胺与稀盐酸混合,在室温和氮气环境下搅拌10‑60mi n,加入18%的甲醛溶液,在氮气环境下反应3h获得MDA溶液;S3、滴加氢氧化钾溶液使MDA析出沉淀获得MDA混合物粉末;S4、将MDA混合物粉末与马来酸酐混合,加入二甲基酰胺、对甲苯磺酸和聚烯化抑制剂,在氮气环境下搅拌5mi n,加入甲苯搅拌均匀;S5、将温度升至110℃‑130℃,反应12h,用分水管将蒸出的水分排出;S6、反应完毕后倒入去离子水中沉淀,待上层有机层清澈后过滤出下层水层中沉淀固体;S7、将过滤出的沉淀固体与环己酮配置成旋涂溶液;S8、在旋涂机上旋涂烘烤固化形成SOC膜层。本发明的SOC膜层制备方法步骤简单,操作安全。