-
公开(公告)号：CN113167969B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201980082616.9
申请日：2019-10-16
申请人： 奇跃公司
摘要： 在形成波导膜的示例方法中，将可光固化材料分配到位于第一模具部分和与第一模具部分相对的第二模具部分之间的空间中。此外，调整第一模具部分的表面相对于与第一模具部分的该表面相对的第二模具部分的表面之间的相对间隔。用适合于使可光固化材料光固化的辐射来照射空间中的可光固化材料以形成固化的波导膜。与照射可光固化材料并行地，改变第一模具部分的表面与第二模具部分的表面之间的相对间隔和/或改变照射可光固化材料的辐射的强度。
-
公开(公告)号：CN114051458A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202080046016.X
申请日：2020-06-23
申请人： 奇跃公司
摘要： 一种将模板与目镜晶圆对准的方法包括：提供模板；相对于第一光源定位模板；以及确定至少两个模板孔的位置。该方法还包括提供目镜晶圆。目镜晶圆包括至少两个目镜波导，每个目镜波导包括耦入光栅和对应的衍射图案。该方法还包括引导来自一个或多个第二光源的光以照射到对应的衍射图案中的每一个上；对从每个耦入光栅衍射的光进行成像；确定至少两个耦入光栅位置；确定对应的模板孔位置和耦入光栅位置之间的偏移；以及基于所确定的偏移，将模板与目镜晶圆对准。
-
公开(公告)号：CN111225780A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201880067513.0
申请日：2018-10-17
申请人： 奇跃公司
摘要： 一种用于将可光固化材料模制成平面物体的示例系统包括具有第一模具表面的第一模具结构、具有第二模具表面的第二模具结构以及沿第一模具表面或第二模具表面中的至少一个设置的一个或多个突起。在操作期间，该系统被配置为：定位第一模具结构和第二模具结构，使得第一模具表面和第二模具表面彼此面对，其中一个或多个突起与相对的模具表面接触；以及在第一模具表面与第二模具表面之间限定总厚度变化(TTV)为500nm或更小的体积。该系统还被配置为在该体积中接收可光固化材料，并将一个或多个波长的辐射引导到该体积中。
-
公开(公告)号：CN114051458B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202080046016.X
申请日：2020-06-23
申请人： 奇跃公司
摘要： 一种将模板与目镜晶圆对准的方法包括：提供模板；相对于第一光源定位模板；以及确定至少两个模板孔的位置。该方法还包括提供目镜晶圆。目镜晶圆包括至少两个目镜波导，每个目镜波导包括耦入光栅和对应的衍射图案。该方法还包括引导来自一个或多个第二光源的光以照射到对应的衍射图案中的每一个上；对从每个耦入光栅衍射的光进行成像；确定至少两个耦入光栅位置；确定对应的模板孔位置和耦入光栅位置之间的偏移；以及基于所确定的偏移，将模板与目镜晶圆对准。
-
公开(公告)号：CN115280187A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202180020403.0
申请日：2021-03-12
申请人： 奇跃公司
摘要： 在形成用于目镜的光学膜的示例方法中，将可固化材料分配到第一模具表面与第二模具表面之间的空间中。使用多个传感器测量第一模具表面相对于第二模具表面的位置。每个传感器测量第一模具表面的平面部分上的相应点与第二模具表面的平面部分上的相应点之间的沿相应测量轴的相应相对距离。测量轴彼此平行，并且点在第一模具表面和第二模具表面上分别限定对应的三角形。基于所测量的位置调整第一模具表面相对于第二模具表面的位置，以及使可固化材料固化以形成光学膜。
-
公开(公告)号：CN117141017B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202310989957.2
申请日：2019-10-16
申请人： 奇跃公司
IPC分类号： B29D11/00 , B29C31/04 , B29C35/02 , B29C35/08 , B29C37/00 , B29C39/00 , B29C39/02 , B29C39/26 , B29C39/38 , B29C39/44 , B29C71/02 , B29K33/00 , B29K83/00 , B29L11/00
摘要： 在形成波导膜的示例方法中，将可光固化材料分配到位于第一模具部分和与第一模具部分相对的第二模具部分之间的空间中。此外，调整第一模具部分的表面相对于与第一模具部分的该表面相对的第二模具部分的表面之间的相对间隔。用适合于使可光固化材料光固化的辐射来照射空间中的可光固化材料以形成固化的波导膜。与照射可光固化材料并行地，改变第一模具部分的表面与第二模具部分的表面之间的相对间隔和/或改变照射可光固化材料的辐射的强度。
-
公开(公告)号：CN116034451B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202180056658.2
申请日：2021-08-06
申请人： 奇跃公司
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 提供了用于在压印(例如单面或双面)中管理多目标对准的系统和方法。一种示例系统，包括：辊，其用于移动模板卷；平台，其用于保持衬底；分配器，其用于在衬底上分配抗蚀剂；光源，其用于当模板卷的模板被压入衬底上的抗蚀剂中时，固化抗蚀剂以在衬底上形成印记；第一检查系统，其用于配准模板的基准标记以确定模板偏移；第二检查系统，其用于配准衬底上的印记，以确定印记的目标位置和实际位置之间的晶片配准偏移；以及控制器，其用于基于模板偏移来控制将具有抗蚀剂的衬底移动到模板下面，并且基于晶片配准偏移来确定衬底上的印记的覆盖偏置。
-
公开(公告)号：CN111225780B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201880067513.0
申请日：2018-10-17
申请人： 奇跃公司
摘要： 一种用于将可光固化材料模制成平面物体的示例系统包括具有第一模具表面的第一模具结构、具有第二模具表面的第二模具结构以及沿第一模具表面或第二模具表面中的至少一个设置的一个或多个突起。在操作期间，该系统被配置为：定位第一模具结构和第二模具结构，使得第一模具表面和第二模具表面彼此面对，其中一个或多个突起与相对的模具表面接触；以及在第一模具表面与第二模具表面之间限定总厚度变化(TTV)为500nm或更小的体积。该系统还被配置为在该体积中接收可光固化材料，并将一个或多个波长的辐射引导到该体积中。
-
公开(公告)号：CN113167969A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980082616.9
申请日：2019-10-16
申请人： 奇跃公司
摘要： 在形成波导膜的示例方法中，将可光固化材料分配到位于第一模具部分和与第一模具部分相对的第二模具部分之间的空间中。此外，调整第一模具部分的表面相对于与第一模具部分的该表面相对的第二模具部分的表面之间的相对间隔。用适合于使可光固化材料光固化的辐射来照射空间中的可光固化材料以形成固化的波导膜。与照射可光固化材料并行地，改变第一模具部分的表面与第二模具部分的表面之间的相对间隔和/或改变照射可光固化材料的辐射的强度。
-
公开(公告)号：CN111566723A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880083678.7
申请日：2018-10-25
申请人： 奇跃公司
摘要： 一种显示设备包括波导，其被配置为在平行于波导的输出表面的横向方向上引导光。该波导被进一步配置为使通过输出表面耦出所引导的光。该显示设备另外包括宽带自适应透镜组件，其被配置为耦入并在其中衍射来自该波导的耦出光。该宽带自适应透镜组件包括第一波片透镜，第一波片透镜包括液晶(LC)层，液晶层被布置为使得波片透镜具有在从第一波片透镜的中心区域径向向外的方向上变化的双折射率(Dn)，并且被配置为在包括至少450nm至630nm的波长范围内以大于90％的衍射效率衍射耦出光。该宽带自适应透镜组件被配置为在具有不同光焦度的多个状态之间选择性地切换。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
14 条记录 (耗时 0.029 秒)
