公开(公告)号：CN118961049A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411447309.5

申请日：2024-10-16

申请人： 季华实验室

发明人： 刘凯翔 ,  托乎提努尔 ,  胡强 ,  苏艮英 ,  王凤双

IPC分类号： G01L21/00 ,  G01L9/12

摘要： 本申请属于电路测量的技术领域，公开了一种真空计电容传感器的测量电路，该测量电路包括：依次连接的二极管双T型交流电桥电路、多级放大电路、后置滤波电路和ADC采样电路；当被测腔体内的气体压力没有发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于平衡状态，二极管双T型交流电桥电路中无直流电信号产生；当被测腔体内的气体压力发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于不平衡状态，二极管双T型交流电桥电路根据气体压力变化量产生对应的直流电信号；通过测量电路中的二极管双T型交流电桥电路，对被测腔体内的气体压力变化量进行测量，提高了真空计电容传感器的测量电路的测量精度。

公开(公告)号：CN118377217A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410804206.3

申请日：2024-06-21

申请人： 季华实验室

发明人： 罗磊 ,  托乎提努尔 ,  胡强 ,  何斌 ,  郭晓东 ,  苏艮英 ,  刘凯翔

IPC分类号： G05B11/42 ,  F16K37/00

摘要： 本公开涉及气体压力控制技术领域，尤其提供一种蝶阀开度的控制方法、控制器、系统和存储介质，该方法包括：基于腔体内部的当前压力和预设压力，确定控制误差信号以及误差信号变化率；基于当前压力和预先确定的电机步数与实际压力的对应关系，确定当前压力对应的实际步数；基于实际步数以及电机步数与修正参数的对应关系确定目标修正参数；对控制误差信号以及误差信号变化率进行模糊处理，得到PID调整量；基于目标修正参数、PID调整量以及初始时刻PID参数，确定当前时刻的PID参数；基于当前时刻的PID参数以及PID控制算法计算蝶阀的控制信号，控制信号用于控制蝶阀的开度。可以提高气体压力的控制精度。

公开(公告)号：CN118377217B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410804206.3

申请日：2024-06-21

申请人： 季华实验室

发明人： 罗磊 ,  托乎提努尔 ,  胡强 ,  何斌 ,  郭晓东 ,  苏艮英 ,  刘凯翔

IPC分类号： G05B11/42 ,  F16K37/00

摘要： 本公开涉及气体压力控制技术领域，尤其提供一种蝶阀开度的控制方法、控制器、系统和存储介质，该方法包括：基于腔体内部的当前压力和预设压力，确定控制误差信号以及误差信号变化率；基于当前压力和预先确定的电机步数与实际压力的对应关系，确定当前压力对应的实际步数；基于实际步数以及电机步数与修正参数的对应关系确定目标修正参数；对控制误差信号以及误差信号变化率进行模糊处理，得到PID调整量；基于目标修正参数、PID调整量以及初始时刻PID参数，确定当前时刻的PID参数；基于当前时刻的PID参数以及PID控制算法计算蝶阀的控制信号，控制信号用于控制蝶阀的开度。可以提高气体压力的控制精度。