公开(公告)号：CN108642560A

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201810490906.4

申请日：2018-05-21

申请人： 宁晋晶兴电子材料有限公司

发明人： 赵学东 ,  何京辉 ,  范玉华 ,  李卫涛 ,  赵勇 ,  闫广志

IPC分类号： C30B15/10 ,  C30B29/06

摘要： 本发明涉及一种大尺寸石英坩埚的制备方法，包括1将原料装入金属模具内旋转成型；2熔制功率调为950-1050KW起弧；启动真空机组抽真空，当模具内真空度为0.8-1.2MPa时，提高熔制功率至1450-1550KW后，电极下降至埚底位置，熔制15-30s；电极归位起弧位置，降低熔制功率至950-1050KW，关闭真空机组，形成坩埚透明层；3熔制功率升至1250-1350KW后，将所述2中形成透明层的坩埚，吹气熔制3-15min；降低熔制功率至950-1050KW，断弧，出炉，获得石英坩埚毛坯；4将3中获得的石英坩埚处理后得石英坩埚成品。

公开(公告)号：CN209292207U

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201821686348.0

申请日：2018-10-17

申请人： 宁晋晶兴电子材料有限公司

发明人： 赵学东 ,  张浩强 ,  范玉华 ,  李卫涛 ,  焦鹏 ,  赵勇 ,  李春辉 ,  闫广志

IPC分类号： C03B20/00

摘要： 本实用新型涉及一种石英坩埚石墨模具，在石墨模具上等间距交错开设有多个第一通孔和第二通孔；第一通孔直径小于第二通孔直径；间距为25±0.5mm。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种石英坩埚石墨模具，由于在石墨模具上等间距交错开设有多个第一通孔和第二通孔，且孔径不同，固定孔距；有利于坩埚熔制时，均匀抽出大量的空气，降低坩埚透明层内的气泡的产生，增加透明层厚度，进而提高了坩埚质量。采用专利号2018104909064，专利名称为一种大尺寸石英坩埚的制备方法制备坩埚，透明层厚度达4-6mm，保证坩埚在200-300小时内，不出现析晶、变形，漏硅情况。